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质量流量控制器

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产品型号V 系列 MFC

品       牌其他品牌

厂商性质代理商

所  在  地深圳市

更新时间:2025-05-29 15:32:47浏览次数:277次

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产地 国产 加工定制
质量流量控制器 V 系列 MFC 是用于精确控制气体质量流量的设备,MFC 既可应用于半导体前段制程,如 ETCH、PVD、ALD、MOCVD、IMP 等设备中, 也在光伏能源、真空镀膜等领域有可观的市场。
MFC 可通过对气体流量的精准控制,有效地提供更高的良率。

质量流量控制器 V 系列 MFC


质量流量控制器 VG80 系列 MFC 是用于控制气体质量流量的零部件,具有以下特点1


  • 设计dute:采用 “双阀 + 压降 + 位置传感" 的dute设计。

  • 性能youyue:响应速度快,启停时间≤100ms;测量精度高,可达 ±0.5% S.P.;测量量程宽,在 2 - 100% F.S.;自诊断能力强,维护成本低。

应用场景:MFC 既可应用于半导体前段制程,如 ETCH、PVD、ALD、MOCVD、IMP 等设备中, 也在光伏能源、真空镀膜等领域有可观的市场。 MFC 可通过对气体流量的精准控制,有效地提供更高的良率。

该系列产品可广泛应用于半导体制造中的 etch(刻蚀)、CVD(化学气相沉积)、PVD(物理气相沉积)、ALD(原子层沉积)、MOCVD(金属有机化学气相沉积)等工艺设备中,也适用于如 MPCVD(微波等离子体化学气相沉积)、解热解冻干燥、石英提纯、医疗废弃物处理等领域。

质量流量控制器

















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