当前位置:深圳市科锐诗汀科技有限公司>>石英晶体膜厚控制仪>>INFICON>> 750-446-G1INFICON CrystalSix探头(传感器)
产地 | 进口 | 加工定制 | 否 |
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INFICON750-446-G1 CrystalSix探头的详细资料:
INFICON CrystalSix 晶体对于要求连续监控速率的长时间过程非常重要。CrystalSix 传感器在一个传感器头中含有 6 颗石英监控器晶体,为 OLED、MBE、太阳能、长时间光学镀膜或其他需要长时间腔室排气的过程提供安全性。与 INFICON 薄膜沉积监控器结合使用时,CrystalSix 在当前晶体失效或不稳定的情况下,会自动将新的晶体转动到适当的位置。晶体更换是自动完成的,不会中断您的过程,支持持续监控沉积速率。
晶体索引通过气动机制完成。相比同类装置使用的昂贵的真空发热电机,这种气动马达可提供更好的晶体热稳定性。一个 8 英寸的水冷却管保持传感器头的热稳定性,并提供晶体位置的灵活性。
与某些 INFICON 薄膜控制器结合使用时,传感器提供位置反馈,因此可针对特定的材料安排特定的位置。
装有 6 颗晶体,可进行可靠的自动转换,从而最大限度延长过程运行时间
晶体转换由空气驱动完成(竞争产品是使用生热电机),因而晶体温度非常稳定
1/8" 管保持热稳定性,并提供传感器放置的灵活性
提供可选晶体闸
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