2025/01/10
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传输矩形阀的介绍
传输矩形阀是一种专为高真空或超高真空系统设计的高性能阀门
结构设计
整体布局：采用紧凑合理的设计，所有移动件都位于大气侧，这样可以保证在真空侧减少微尘颗粒的产生，避免对真空系统造成污染。
驱动机构：通常采用气动驱动模式，驱动机构包括缸体、活动块、活动轴、行程驱动组件、波纹管等部件。通过气咀进气和放气实现活塞在腔体内活动，进而带动推杆、活动块和活动轴活动，最终驱动阀板贴合阀体内壁活动，实现阀门的开启和关闭1。
密封结构：阀体密封门可以快速拆卸，便于更换 o-ring 密封圈。当气压损失时，阀门底部的逆止阀可以保证阀板密封件自动锁紧，防止泄漏。
性能特点
快速响应：开启 / 关闭的最快时间不超过 1s，能够快速满足系统的通断需求，提高生产效率。
低压力差：当阀门开启时，压力差值小于 10mbar，可有效降低对系统压力的影响，确保系统的稳定性。
高洁净度：由于移动件位于大气侧以及密封结构的优化，减少了微尘颗粒的产生和进入真空系统的可能性，保证了真空系统的高洁净度。
良好的耐用性：阀体材料可选择不锈钢或者铝合金材质，表面可以做电解抛光或者硬质阳极氧化处理，具有较强的抗腐蚀能力，能抵御潮湿、酸碱等恶劣环境侵蚀。
应用领域
主要应用于半导体、光电产业的镀膜设备中，以及需要精确控制真空压力的生产线与过渡腔室、传输系统与工艺腔室之间
