01 | MIB公司介绍
MIB GmbH——超声波流量计制造商
我们深谙工艺流程，提供适配的测量技术。
公司宗旨，基于超声波技术的测量仪器的研发、生产、市场营销与销售；核心技术受自有保护；
目标市场面向以下制造业工厂建设、过程与工厂自动化、机械与设备制造、半导体/太阳能电池生产、各类化学加工、水处理/废水处理、制药/医疗保健。
02 | 工作原理
图：超声波测量原理介绍
采用超声相位差原理的物理背景类似于“逆流游泳更费力"——超声波顺流传播时速度加快、逆流传播时速度减慢，导致两个方向接收到的波形在相位上产生偏移。通过检测这一偏移量（相位差），即可直接得到流速，再结合管道横截面积得出体积流量。
03 | 光伏、半导体行业应用场景
Flowmax 400i 与 Flowmax 54i —— 面向光伏/半导体市场
★Flowmax 超声波产品线的组成部分
高纯度流量测量系统，采用 PFA 管体（FM 400i、FM 4000i）或 PP-H 本色、PVDF 管体（FM 54i），专为高纯度化学品设计
在光伏和半导体市场已取得成功应用
非接触式流量测量，无运动部件
测量精度 < 1% / 重复性 < 0.5%
可测量大多数高纯工艺（HP process）液体的流量
超声波渡越时间输出，用于介质分析
适用于掺杂（spiking）及设施应用中的液体过程控制与管理
高性价比
市场上最宽的流量范围（0.03 – 900 L/min）
管内（InLine）设计
每台流量计均附有出厂校准证书
Flowmax 400i PFA
超声波流量计
紧凑型版本
---
介质温度最高
60°C
防爆
ATEX EEx 2区
ATEX EEx 1区
分体型版本
---
介质温度最高
90°C
口径
流量范围
DN 07
0.03 – 6.0 l/min
DN 07
0.09 – 6.0 l/min
DN 10
0.30 – 24.0 l/min
DN 15
0.90 – 60.0 l/min
DN 20
1.20 – 120.0 l/min
Flowmax 400i
MIB
★超声波流量测量的功能特性：
适用于超高纯水、化学品和浆料的流量测量
高纯度 PFA 测量管，外壳防护等级 IP65
紧凑型或分体型电子单元
分体型电子单元可带或不带集成显示屏
尺寸 3/8" 至 1"（DN 7；10；15；20：流量范围 0.03 – 120 l/min）
测量精度 < 1%，重复性 0.5%
快速的读数速度 4 ms，配料时间 > 1秒（需配合快速阀门）
介质/环境温度 0° … +90°C（32°F … 194°F）
最大流体压力可达 6 bar
总线连接（RS 485、Modbus 等）；模拟/数字输出
集成功能：
空管检测
非浸润式温度传感器
超声波渡越时间输出，用于介质分析
Flowmax 400i 管内设计
PFA（聚四氟乙烯）设计
Flowmax 4000i PFA
超声波流量计
紧凑型版本 —— 介质温度最高 60°C
口径
流量范围
?
0.0025 – 1.2 l/min
?"
0.010 – 6.0 l/mi
Flowmax 4000i
MIB
★超声波流量测量的功能特性：
适用于超高纯水、化学品和浆料的流量测量
高纯度 PFA 测量管，外壳防护等级 IP65
紧凑型或分体型电子单元
尺寸 ?" 和 ?"（流量范围 0.0025 – 6.0 l/min）
测量精度 < 1%，重复性 0.5%
介质/环境温度 +60°C
最大流体压力可达 6 bar
总线连接（RS 485、Modbus 等）；模拟/数字输出
集成功能：
空管检测
非浸润式温度传感器
超声波渡越时间输出，用于介质分析
Flowmax 54i PP-H 本色、PVD
超声波流量计
口径
流量范围
DN 25
5.0 – 180 l/min
DN 32
9.0 – 300 l/m
DN 40
18.0 – 480 l/min
DN 50
36.0 – 900 l/min
Flowmax 54i
MIB
★超声波流量测量的功能特性：
适用于超高纯水、化学品和浆料的流量测量
PP-H 本色或 PVDF 测量管
外壳防护等级 IP65
可带或不带集成显示屏
尺寸 DN 25；32；40；50：流量范围 5 – 900 l/min
测量精度 < 1%，重复性 0.5%
快速的读数速度 4 ms，配料时间 > 1秒（需配合快速阀门）
介质/环境温度 0° – +50°C（32°F – 122°F）
最大流体压力可达 6 bar
总线连接（RS 485、Modbus 等）；模拟/数字输出
集成功能：
空管检测
非浸润式温度传感器
超声波渡越时间输出，用于介质分析
典型应用
Flowmax 400i / Flowmax 4000i
Flowmax 54i 的
使用 Flowmax 400i / 54i，我们能够测量大多数关键性强腐蚀酸液和碱液，包括去离子水、氨水溶液、缓冲氧化物蚀刻液 BOE、醋酸、轻氟酸、硫酸、盐酸等。
工具（湿法工艺设备）的消耗量测量
液体体积的配料、灌装和掺杂（spiking）
利用声速测量进行介质分析（可选功能）
液体的槽液管理与控制（例如 HCl / H?SO? / HNO?……）
声速测量——Flowmax 的可选功能
MIB
蠕动泵输送液体时的典型流量曲线
MIB
如果流量计的读数速度足够快（如 Flowmax 可达到每秒 250 次读数），则能完整记录和精确处理整个流量路径。这适用于所有涉及泵和阀门的工艺过程。
半导体、光伏应用案例
MIB
安装于半导体冷却回路中——去离子水
半导体 FSI 晶圆喷淋处理系统
安装于半导体设施中
半导体设施——从储罐到机台的管线
安装于半导体设备上
一台仪器完成三项任务：
Flowmax 被用于配料、控制和浓度监控。
湿法工艺领域部分设备制造商的创新成果是为其设备增加了一台多功能流量计。在该设备中，Flowmax 被用于化学品的精确配料、消耗量控制以及浓度的质量控制。化学混合物所需的浓度由系统自动控制和调节。
安装于光伏设施中
一台仪器完成三项任务：
Flowmax 被用于配料、控制和浓度监控。
湿法工艺领域部分设备制造商的创新成果是为其设备增加了一台多功能流量计。在该设备中，Flowmax 被用于化学品的精确配料、消耗量控制以及浓度的质量控制。化学混合物所需的浓度由系统自动控制和调节。
1