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溅射蒸碳仪

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产品型号BO.28-1100X-SPC16C

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更新时间：2018-01-18 04:42:26浏览次数：417次

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北京卓川电子科技有限公司

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产品简介

溅射蒸碳仪是一款经过CE认证的，可以分别进行等离子溅射镀膜及蒸碳涂层机组。

详细介绍

溅射蒸碳仪是一款经过CE认证的，可以分别进行等离子溅射镀膜及蒸碳涂层机组。它不但可以用等离子进行溅射镀金属膜，也可以用蒸发的方法得到碳的薄膜。GSL1100X-SPC16C 溅射蒸碳仪是依据二极（DC）直流溅射原理设计而成的，zui简单、可靠、经济的镀膜设备。同时增加了热蒸发附件，具有溅射和蒸发两种功能。满足电镜实验室的扫描电子显微镜（SEM）样品制备和非导体材料实验电极制作。

也可以用于材料研究中各种新材料性能的实验。

主要特点：

装备是在GSL-1100X-SPC-16等离子溅射仪基础上，增加了热蒸发附件，可以蒸发碳丝，具有溅射和蒸发两种功能。因此扩展了应用范围，特别适用于扫描电镜实验室样品制备。

技术参数：

1、真空样品室：硼硅酸盐玻璃160mm×110mm（D×H）
2、靶（上部电极）：50mm×0.1mm（D×H）
3、样品台：50mm（D）
4、操作真空：4×10-1mbar至2×10-2mbar
5、工作电压：0-1600V （DC）可调
6、溅射电流：0-50mA
7、溅射定时：1-9999S
8、蒸碳电流0-10A（AC）
9、真空泵：4升两级机械旋转泵（极限真空2×10-2mbar）