佰汇兴业（北京）科技有限公司
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阅读：612发布时间：2016-1-18
表面涂层综合性能评价试验机（MSE微粒喷浆冲蚀法）
微粒喷浆冲蚀MSE方法
使用恒定的固体微粒对材料表面进行冲蚀，材料磨损量随表面强度而改变。MSE试验机将磨损量的变化转换成磨损率，来评估和对比各种材料表面强度。
适用范围：涂层、镀层、镀膜
涂层强度 （可检测多级涂层强度数值化）
复合涂层厚度（可分层检测多涂层）
涂层间、涂层与基体结合力
通过对膜的检测。评价镀膜工艺性能
涂层均匀度
表面涂层综合性能评价试验机（MSE微粒喷浆冲蚀法）的特点
1、MSE是市场上采用全新方法评估涂层材料的试验机。
2、MSE是市场上可以评估坚硬涂层的试验机，对坚硬涂层具有高分辨能力，可对多种坚硬涂层进行评估，如TiN，DLC（类金刚石镀膜），CBN（立方氮化硼）和金刚石等，*了现在各种试验机不能评估坚硬涂层的缺陷。
3、MSE也是可对多涂层进行评估的试验机。
4、MSE微粒碰撞产生的磨损是纳米级的，可在不破坏基体材料的情况下，对薄膜涂层进行评估。结合对碰撞微粒的控制，具有很好的重复性。
5、MSE评估分析时间短。浆体的高速喷射使得产生1um的磨损深度只需几秒时间，Si晶片约3s，蓝宝石约75s，TiN薄膜约350s，DLC约8000s。
产品应用(所有具有表面涂层材料筛选、研究的应用领域)
1、涂层和硬涂层材料的研发
● 切削工具和研磨工具的寿命预测，可与元素分析，划痕测试等设备联用。
● 硬涂层薄膜材料的研发。
● 坚硬新材料的研发领域，用于技术（飞机或火箭）的坚硬材料和耐高温材料等。
● 薄膜制造工艺研发领域，不同的生产工艺导致薄膜质量差异，MSE使用磨损率对薄膜细微差异进行评估。
● 烧结材料制造工艺研发领域，在试制阶段及时进行材料的物理和力学特性评估。
2、制造领域
● 制造设备质量波动检测
● 间接设备维护，时常进行产品检验对改进和保持产品质量非常重要的。
● 质量保证
表面涂层综合性能评价试验机（MSE微粒喷浆冲蚀法）的示例
表面涂层综合性能评价试验机（MSE微粒喷浆冲蚀法）各种材料的摩损率等级
MSE测量的技术参数
| MSE-S | MSE-A | MSE-B | |
| 基本规格 | |||
| 构造 | 磨损处理系统 | 磨损处理系统 | 磨损处理系统 |
| - | 样品清洗单元 | - | |
| - | 自动测量系统 | - | |
| - | 数据处理系统 | - | |
| 测试规格 | |||
| 样品尺寸 | 30mm×t10mm | 30mm×t10mm | 30mm×t10mm |
| 磨损面积 | 1mm | 1mm | 2mm |
| 颗粒类型 | 平均直径1.2μm（WA8000） | 平均直径1.2μm（WA8000） | 平均直径1.2μm—100μm |
| 浆体密度 | 3wt%（恒定） | 3wt%（恒定） | zui大 5wt% |
| 浆体罐容量 | 1L | 1L | 1L |
| 喷射角度 | 90°（恒定） | 90°（恒定） | 60°～90°喷射过程中恒定 |
| 喷射分辨率 | 0.5g | 0.5g | 0.5g |
| 连续测量的准确度 | ±8% | ±8% | ±8% |
| 测量部分参数 | |||
| 方法 | - | 垂直扫描 干涉仪形貌测量 | - |
| 面积 | - | 1330×1760μm | - |
| 深度 | - | 20μm | - |
| 分辨率 | - | 20nm | - |
| 主体参数 | |||
| 尺寸 | W700×d530×h610 | W1100×d500×h650 | W600×d550×h650 |
| 测量控制部分 | - | W550×d550×h580 | - |
| 屏幕 | - | W400×d200×h400 | - |
| Utility | |||
| 电源 | 100v 0.8kva | 100v 1kva | 100v 0.8kva |
| 气源 | 干燥空气（0.55 mpa 以上） 15L/min （ANR 0.4kw 相当） | 干燥空气（0.55 mpa 以上） 15L/min （ANR 0.4kw 相当） | 干燥空气（0.55 mpa 以上） 15L/min （ANR 0.75kw 相当） |
| 其他 | 空气和水废液 | 水源，空气和水废液 | 空气和水废液 |
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