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NM2100电子控制器

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更新时间：2023-10-19 10:50:26浏览次数：50次

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产品简介

NM2100是由纳米传感器，高电压放大器和控制电子元件结合作为一个单一通道的独立模块，供电电压有±15V，130V和-30DV电源。使用该控制器可提供压电转换器的闭环位置控制，X-Y平台，镜子转向机制等应用。另外，它还应用于开环控制作为压电控制器和纳米传感器。电子控制器允许用户优化NM2100闭环响应。闭环控制比开环控制在稳定性和线性度上面有了巨大的提高。型号：2100 -标准 2100-20 -......

详细介绍

- 主要特点-

亚纳米的分辨率；
线性度可达0.02%；
测量带宽可调（50HZ，500Hz或5kHz）；
放大器增益可调（在不必使用满量程的情况下）；
可选择长（“L"）或短（“-S"）测量量程（2pF或10pF电容）；

-应用领域-

磁盘驱动器磁头测试；

膜/晶圆夹头对齐；

扫描探针显微技术；

光腔调整；

干涉测量；

- 技术规格-

参数	值	单位	备注
静态参数
尺寸	218x77x34	mm
供电电压	±15±1@120mA	VDC
	±120~+130@30mA	VDC
	-32~-27@30mA	VDC	①
传感器输出	-5~+5	V	②
模拟输入范围	-10~+10	V
数字输入D/A分辨率	14	Bits
纳米传感器动态参数
比例因子	0.1~0.01	GV^-1	③
噪音水平(-S)	＜0.3	ppmHz^-1/2rms	④
噪音水平(-L)	＜0.15	ppmHz^-1/2rms	④
热漂移	5	ppmK^-1Typ	④
预热时间	10	分钟
预热漂移	80	ppm	④
聚苯乙烯扰	10	ppmV^-1	④
线性度	＜0.2	%	⑤
带宽	50,500,5000±10%	Hz	⑥
高压放大器的动态参数(典型值)
输出电压(2100)	0~+120	V
输出电压(2100-20)	-20~+120	V
带宽	5	KHz	⑦
模拟输入增益	6	V/V	⑧
数字输入增益	7.3	mV/bit	⑧
噪音	0.2	mVms	⑨
电流	50	mA