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SCE(IR)-MC-C5模块化光学传感器配合红外线灯光进行工作,适用于非接触式厚度测量,即便材料的一面不透明。 该传感器专门针对在一个19"插件中使用最多至 5 个通道的工业内联应用而设计。 不同的型号确保针对大量的应用提供解决方案。 针对所有加工阶段中的晶片可以在 10 µm - 1000 µm 的厚度范围内进行精确的离线和在线测量。
SCE(IR)-MC-C5模块化光学传感器特点:
较大的层厚度测量范围;
抛光的和粗糙的表面;
透明的和不透明的材料;
从单面进行测量;
在线和离线;
较高的横向分辨率;
距离测量(可选);
简单集成;
无损伤测量;
坚固耐用;
自动光量控制;
较大的测量间距公差范围;
SCE(IR)-MC-C5模块化光学传感器应用领域:
SCE系列传感器利用多种*的技术来实现快速距离和厚度测量。 传感器采用的光谱共焦(Chromatic confocal)和光干涉 (Interferometric)原理使其可以对几乎任何表面做测量,另外不同种类的白光和红外光源方便了传感器测量多种材料。在光伏设备、玻璃行业、半导体行业、医学、塑料盒坐标测量技术上得到了的广泛的应用和认可。
SCE(IR)-MC-C5模块化光学传感器技术规格:
SCE(IR)-MC-C5模块化光学传感器测量原理:
白光光源①发出白光,经过光纤分路器③进入光纤传导,再通过针孔④白光到达色散物镜⑤,在被测物一侧产生色散,由于波长不同,只有焦点在被测表面上的光才能被反射透过针孔④, 进入针孔④后方的光谱分析仪②。焦点在被测表面上的光波长在光谱分析仪中体现为峰值,由光谱仪的光谱分布可以判断被测物体的高度。
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