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NM-X-5A尺寸小,毫秒级响应时间,应用在需要高可靠性和高输出的方面。轻质量、高刚度,而且可以用于高的带宽环境。 电容传感器提供了高于纳米级的分辨率,实现在6微米内的闭环控制。柔性导轨使运动平滑,运动范围可减小到5微米。因为结合了数字闭环控制器,NM-X-5A可以实现高于纳米级的响应。
>5微米运动范围,高于纳米级分辨率;
振荡频率>8K;
小于微秒级响应时间(负载5g);
现场扫描和步骤反应化;
高稳定性;
即插即用,低停机时间;
磁头和硬盘测试;
干涉测量……
参数 | 符号 | 值 | 单位 | 备注 | ||||||
静态参数 |
| |||||||||
|
| 最小 | 标准 |
|
|
| ||||
材质 |
| 铝 |
|
| ||||||
尺寸 |
| 23(长)×16.5(宽)×7.6(高) | mm |
| ||||||
*范围 | dxp·max | 6.5 |
| μm |
| |||||
*比例因子 | bx1 |
| 1 |
| μm | ① | ||||
*比例因子误差 | δbx1 |
| 小于0.1 | % | ||||||
共振频率(空载) | f0·0 | 8000 |
| Hz |
| |||||
负载 |
|
|
| 5 | g | ② | ||||
动态参数 |
| |||||||||
3dB带宽 | Bx·p | 500 | Hz |
| ||||||
*信号响应时间 | txs·s | 1.6 | ms | ③ | ||||||
*位置噪音 | δXp·n | 0.1 | nm | ④ | ||||||
误差 |
| |||||||||
*磁滞(峰峰值) | δxp·hyst |
| 0.1 | 0.2 | % | ⑤ | ||||
*线性度(峰值) | δxp·lin |
| 0.1 | 0.2 | % | ⑥ |
注意:
*这些参数由各转换器实测并提供。
①、所有的位置命令单位是每微米7个数字分辨率。
②、这是Z轴可承受的负载。
③、这是2%的响应时间,这是伺服系统的闭环参数,用户可以控制,测试单位是500nm;
④、实际的位置噪音;
⑤、位移的百分比,意思是位移为1um则磁滞小于1nm。
⑥、误差为满量程的百分比。
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