| 型号 | 功率 | 炉管尺寸(mm) | 外形尺寸 | 电源电压 | 相数 |
| RTF-PECVD-1200-60 | 3.5KW | Dia60(OD)X1400mm | 1300X420X1200 | 220V | 单相 |
加热元件：瑞典Kanthal A1 进口电阻丝 （电阻丝可承诺保修2年）
控制方式：
采用宇电程序控温仪表（标配）
可选配日本导电程序控温仪表
1、30段程序控温智能PID调节。
2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,，（当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时，主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。
3、带有485 通讯接口（选购软件时标配）
4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。
5、仪表具有温度自整定的功能
控温模式：智能PID 断偶保护和显示:有 过温保护:有 过流保护:有
炉膛材料：1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。
2、采用*成型。
3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本的热工技术布置、经过热工软件模拟温场
控制精度：+/- 1 ℃
触发器：移相触发
电器：浙江正泰
可控硅：106/16E 德国西门康
温度:1200 ℃
额定温度:1100 ℃
升温速率:≤20 ℃/ Min （可根据要求修改）
推荐升温速率:≤10℃/ Min
热电偶型号:K 型
加热段长度:400mm
真空法兰
1、为了增加抽气速率，达到更高真空的要求。可将原有软管接头更换成KF-25接口（VS-0.1和VS高真空系统接口皆为KF25）
2、如用于供气系统，可将原有软管接头更换成Φ6.35mm双卡套接头.
转动电机功率: 40W
电动推杆功率:40W
炉子倾斜角度: -10~30度
炉管转动速率 :采用无级变速电机 转速可在1-25转/min 之间可调
转动密封方式 : 采用转动磁流体密封
四周表面温度:≤45℃
射频电源（等离子体发生器）
功率输出范围: 0-500W
反射功率:10W
信号频率:13.56MHZ±0.005%
噪声:<30 dB.
冷却方式:空气冷却
输入电源:208-240V 50/60HZ
GX供气系统主要参数
流量控制和检测采用
D07-7C质量流量计
标准量程：采用质子流量控制器 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意选择量程和所通气体的类型）
工作压力：3MP
准确度：±1.5%
气压降：<0.01MPa
重复精度：±0.2% F.S
路数：1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意选择几路）
接头类型：双卡套不锈钢接头
系统工作压力范围：0.1~0.5 MPa
工作温度：5-45℃
压力真空表表：-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格
静态混气室： Dia50 X 400MM
接口： Dia6 1/4”
VS-0.1抽气系统
电源：220V
尺寸：600X600X600
波纹管：KF25X1000mm
用该系统抽炉管真空度可达：10 -1Pa
真空挡板阀：KF25
VRD-8真空泵(方案一)
型号：VRD-8
极限分压强：5X10-2 Pa
进排气接口：KF25
电机转速:1440RPM
抽气速率:2.2L/S
电机功率:0.4KW
无油干泵Perfeer ACP15（方案 二）
型号 ACP15
电源 100-240V 50/60HZ
极限分压强 0.02 Torr
进、排气接口 KF25
重量 25KG
氦气漏率 5 · 10-8 Pa m3/s
抽气速率 14 m3/h
功率 450W
电阻真空计
型号:ZDR-1
功率:25W
真空度测量范围:0.1-10 5 Pa
电阻硅:ZJ-52T
瑞典（INFICON）皮拉尼陶瓷电容真空计（选购）
型号:PCG554
输入电压:24V 1A DC（配有220V变压器）
真空计接口:KF16
数字显示:数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr
产品尺寸:46mm×28mm×126mm ( L x W x H)
重量:5 lbs
检测气体:可检测各种气体，包括混合气体，测量精确、重复性好。
是否防腐:防腐
响应时间:≤30ms
测量范围:3.8x10-5 -1125 Torr.
