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电容式真空压力计760系列

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更新时间:2018-05-14 09:00:00浏览次数:470次

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概述:
■ 的热稳定性
■ 出众的EMI/RFI 性能
■ 低价位
■ 小巧紧凑的结构
■ 耐腐蚀的Inconel® 部件
■ 多种压力和电气连接方式
■ 符合CE 标准

应用:
■ 半导体过程工具和装置
■ 实验室和研究开发
■ 实验和测量
■ 度量
■ 分析化学系统

Setra Model 760 电容压力计是为精确的、可重复的真空测量而设计的压力传感器。满量程范围从10Torr 到1000Torr。测量单位可以是Torr,mbar/hpa,kpa 或psia。Model 760 的工作电压是15VDC,输出0~10VDC 或0~5VDC,输出与压力成线性关系,而且与气体成分无关。电气连接件可以是工业标准15 针D 型插座或6 位接线端子板。采用金属外壳、巨涌和ESD 抑制元件以及输入输出的RFI 过滤等技术,Model 760 具有的EMI/RFI 性能。


Model 760 有一个完整的滑面,很容易提供有精确的零点调节和量程调节的多匝电位计。Inconel® 材质适用于全部湿原料所以可测量腐蚀性气体,另外可提供不同类型的压力和真空接头。Model 760 中高精度的压力传感元件Vactronsensor,是在Setra 技术可变电容传感技术基础上发展来的。在敏感元件*有一个馈入装置组件支持一个邻近膜片后表面的圆电极。电极和膜片在一个低压接近真空的空间内组成了一个可变电容。这一电容的变化被Setra *的集成电路检测并被转换成高精度的线性直流信号,该集成电路是根据西特技术负荷平衡原理设计的。Model 760 采用革新的传感设计获得了的零点稳定性和大气压非敏感性。

Model 760 传感器包含了不易脆的或合成的部件,形成了与陶瓷式结构相似的电容式压力计。

 
  

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      产品规格书
      产品安装手册
      证书(CE)
      快速选型手册

 

 

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