在影像测量仪上的测量均是单轴或二维平面坐标的测量，测量时先对焦，后对准，再读数（计数），最后计算处理。读数来自于标尺即光栅系统，对焦对准依靠显微镜光学系统，还有一个直接影响测量效果和精度的照明光源，因为，基于影像方法测量的仪器，如果被测件不能被有效正确的照明，则测量的结果显然要偏离其真实尺寸。除前述因素外，环境条件也是制约测量精度不可忽视的因素。基于上述分析，可以归纳出以下几个方面的误差来源：
在影像测量仪上的测量均是单轴或二维平面坐标的测量，测量时先对焦，后对准，再读数（计数），最后计算处理。读数来自于标尺即光栅系统，对焦对准依靠显微镜光学系统，还有一个直接影响测量效果和精度的照明光源，因为，基于影像方法测量的仪器，如果被测件不能被有效正确的照明，则测量的结果显然要偏离其真实尺寸。除前述因素外，环境条件也是制约测量精度不可忽视的因素。基于上述分析，可以归纳出以下几个方面的误差来源：
（1）光栅计数尺的误差；
（2）工作台移动时存在的直线度、角摆带来的误差；
（3）工作台两测量轴垂直度带来的误差；
（4）显微镜光轴与工作台面不垂直带来的误差；
（5）测量室温度偏离20℃参考温度带来的误差；
（6）光源照明条件的变化带来的对焦和对准误差。
