关于热式气体质量流量计综合方面简单介绍

以硅片为基础，采用微机械加工技术与薄膜技术制成的热式气体质量流量计传感器的结构、工作原理及其主要技术特点，以该传感器为核心部件组成的质量流量计与控制器的特点与应用示例。

通常流量测量有体积与质量计量两种方式。体积流量计量往往受温度、压力等工况的变化而影响计量度。因此，要求计量的场合必须采用质量流量计量。质量流量计可分为推导式质量流量计与直接式质量流量计热式气体质量流量计两种。前者是在体积计量的基础上进行密度补偿或者进行温度、压力补偿，并通过运算推导出质量流量。

后者是基于传感器测量原理消除温度、压力等的影响，从而直接获得质量流量，如科里奥利(Coriolis)质量流量计、热式质量流量计等。前者适用于多种液体的质量流量计量，后者则适用于各种气体的微小流量的质量计量。

热式质量流量计又称量热流量计。它是利用测量热的传递、热的转移原理来求得质量流量的仪表。该类仪表的基本原理几乎相同，但传感器的结构与材料各有特色。本文将重点介绍株式会社山武的CMS与CMQ热式气体质量流量计与控制器。