北京杜贺利创科技有限公司
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阅读:47发布时间:2024-9-16
碳化硅的外延工艺是整个碳化硅产业中的一种非常关键的工艺,由于现在所有的器件基本上都是在外延上实现,所以外延的质量对器件的性能是影响是非常大的,但是外延的质量它又受到晶体和衬底。加工的影响,处在一个产业的中间环节,对产业的发展起到非常关键的作用。
碳化硅一般采用PVT方法,温度高达2000多度,且加工周期比较长,产出比较低,因而碳化硅衬底的成本是非常高的。
在器件制备方面,由于材料的特殊性,器件过程的加工和硅不同的是,采用了高温的工艺,包括高温离子注入、高温氧化以及高温退火工艺。
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