北京塞尔瑟斯仪表科技股份有限公司
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V10FD-M/H中高压型MFC/MFM
● 通用型,适用于10MPa以下各种气体 
● 响应速度100ms,无需预热,上电即可操作 V10FD中高压型流量计
● 无热漂移,长期稳定性0.1%F.S/年
● 数模兼容,可使用二次表或计算机控制和显示流量
● 内置阀控指示灯/通讯指示灯/流量指示灯
● 内置4种气体,无比热容附加误差,不影响精度
V10FD-M/H采用全不锈钢传感器，适合于测量各种与316
不锈钢兼容的气体。该产品为模拟和数字兼容型设计：可通
过模拟型二次表或PLC进行设定和显示瞬时流量；也可通过
数字接口直接与计算机进行通讯。具有通用于模拟型控制系
统和数字型控制系统的特点。
V10FD-M/H采用无热漂移,无响应滞后的差压质量流量测
量原理。多气体多量程的设计便于用户现场配置流量计：通
过拨码开关可以现场选择四种测量气体，每种气体有3种校
准量程，六个LED指示灯可以较直观的显示V10FD-M/H的
各种工作状态。如果需要对气体流量进行控制时,还可以加装
电磁比例调节阀和内置PID调节功能。
与传统热式气体质量流量控制器/计不同,当使用气体转换系
数时,V10FD-M/H没有附加的比热容误差,所以,即使测量气体与
出厂时的标定气体不同,也不会影响测量精度。
产品应用 0FD中高压型控制器
真空 半导体 航空航天 工业制造 石油化工
冶金煤炭 环境分析 食品药品 生物科技
V1技术参数
技术指标: V10FD-M/HC质量流量控制器 V10FD-M/HM质量流量计
量程范围: 小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～250SLM
测控范围: 控制器阀控范围50:1 流量计量程比100:1
准确度: 流量：±1.5%读数±0.2%满量程
可选±0.8%读数±0.2%满量程
压力：0.5%F.S 温度：±1℃
线 性: ±0.5%F.S
重复精度: ±0.2%F.S
响应时间: 100ms 10ms
数字量: RS232/485，MODBUS协议
模拟量: 0～5V、4～20mA、1～5V
供 电: 24V/±15V可选
工作温度: 0～50℃
工作压力: 工作压差：0.03～0.5MPa 工作压降：<0.01Mpa
耐压: 中压3MPa，高压10MPa
电气连接: DB15孔
漏 率: 1×10-9SCCSHe
温度系数: ±0.015%F.S/℃
底座材质: 316L不锈钢
密封材料: 氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶
接 头: VCR1/4;swagelokφ6
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