北京颇特仪器有限公司
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| 产地 | 进口 | 加工定制 | 否 |
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001 ， 002 和 003A 型质量流量控制阀门都是常闭的比例控制阀门，可应用在从 0-5sccm 到 0-500 slpm 氮气量程中。当它与质量流量计结合使用时，就可构成一个闭合回路控制系统 , 该系统允许单独组件配置（流量计和控制阀门）。
001 ， 002 和 003A 型质量流量控制阀门都是常闭的比例控制阀门，可应用在从 0-5sccm 到 0-500 slpm 氮气量程中。当它与质量流量计结合使用时，就可构成一个闭合回路控制系统 , 该系统允许单独组件配置（流量计和控制阀门）。
001 型， 002 型， 003A 型 质量流量控制阀门技术参数
流量范围* ：从 0-5SCCM 到 0-500SLPM
环境和操作温度 ： -10 ～ 70 ℃（ 14 ～ 158 ℉）
zui大操作压力： 1000PSIG （ 6.9 MPa ） ，具体请参考表一
安装方向 ：对位置不敏感
额定工作电压 ： 4-11VDC （zui大 24VDC ）
额定工作电流 ： 150mADC （zui大 275 mADC ）
阀线圈电阻 ： 80 ± 4 Ω（ 001型和003A型） ； 63 ± 3 Ω（ 002型）
重 量 ：请参考表一
结构材质
主体： 316 不锈钢
孔： 316 不锈钢
阀组件（接液）： 001 型： 302SS ， 316SS ， 430FSS ， Sandvik?1802
002 型： 302SS ， 316SS ， Sandvik1802
003A 型： 302SS ， 316SS ， 430FSS ， Sandvik1802
密封材质（” O ”型环和阀座）： 001 型： Buna N ， EPDM ， Kalrez ， Neoprene ， Viton
002 型： Buna N ， EPDM ， Kalrez ， Neoprene ， Viton
003A 型： Buna N ， Viton
* 注：上述流量范围反映的是氮气标定下产生的zui小流量和zui大流量，可采用其它介质的流量范围，当操作参数有疑问时为了保证选型，请咨询厂家。
表 一
型 号 | 流量范围 zui小 / zui大 | zui大操作压力 PSIG （ MPa ） | 重 量 lbs （ Kg ） | |
001 | 0-5SCCM/0-10SLPM | 1000 （ 6.9 ） | 0.6 （ 0.27 ） |
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002 | 0-10SLPM/0-100SLPM | 1000 （ 6.9 ） | 2.1 （ 0.95 ） |
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003A | 0- 100SLPM /0-500SLPM | 200 （ 1.4 ） | 3.4 （ 1.54 ） |
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订货时须提供以下信息：
1 、产品型号
2 、密封材质（阀座 / “ O ”型环）
3 、接口尺寸和类型
4 、流量范围
5 、介质（气体类型）
6 、工作温度
7 、入口压力 P1
8 、出口压力 P2
9 、其它要求
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