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6ES5-926-3SA11单路脉冲输入的内部方向控制加/减计数。即只有一个脉冲输入端，通过高速计数器的控制字节的第3位来控制作加计数或者减计数。6ES5-926-3SA11该位=1，加计数；该位=0，减计数。如图1所示内部方向控制的单路加/减计数 。

（2）6ES5-926-3SA11单路脉冲输入的外部方向控制加/减计数。即有一个脉冲输入端，有一个方向控制端，方向输入信号等于1时，加计数；方向输入信号等于0时，减计数。如图2所示外部方向控制的单路加/减计数。

（3）6ES5-926-3SA11两路脉冲输入的单相加/减计数。即有两个6ES5-926-3SA11脉冲输入端，一个是加计数脉冲，一个是减计数脉冲，计数值为两个输入端脉冲的代数和。如图3所示。

ASML A1075 PDS Interface ASSY 879-8125-003 Rev C SVG

SVG/ASML 859-0157-002 Segment Mirror Assy

ASML/SVG 859-0399-002 Kollmorgan 00-S0613-038

ASML 4022.455.8688 Optical Gas Analyzer in case SVG

ASML 4022.502.26001 Ellipsoidal Mirror SVG

SVG/ASML 879-0008-003 Optical Assy.

ASML 4022.454.5500 Optical Item SVG

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ASML/SVG Art Remote Control Box Assy ARCB

SVG/ASML 859-8139-005-B Motor Control

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ASML/SVG 851-6307-0025/N​007 Optical Item