一、溅射薄膜压力传感器基本原理
溅射式压力敏感元件是在高真空中,利用镀膜技术,将绝缘材料、电阻材料以分子形式淀积在弹性不锈钢膜片上,形成分子键合的绝缘薄膜和电阻材料薄膜,并与弹性不锈钢膜片融合为一体。再经过光刻、调阻,温度补偿等工序,在弹性不锈钢膜片表面上形成牢固而稳定的惠斯顿电桥。此电桥便是仪表,传感器等测量器件中的基本环节。当被测介质压力作用于弹性不锈钢膜片时,位于另一面的惠斯顿电桥则产生正比于压力的电输出信号。将此信号经放大调节等处理。再配以适当的结构,就成为应用于各个领域中的压力传感器和压力变送器。
二、溅射薄膜压力传感器实际运用
广泛应用于航空、航天、交通、水利、电力、工程机械、汽车制造、船舶制造、石油化工、冶金制造、医疗设备、食品加工等多种自控和测量行业。
1、压力变送器具有工作可靠、性能稳定、
2、V/I集成电路,外围器件少,可靠性高,维护简单、轻松,体积小、重量轻,安装 调试极为方便。
3、铝合金压铸外壳,三端隔离,静电喷塑保护层,坚固耐用。
4、4-20mA DC二线制信号传送,抗*力强,传输距离远。
5、LED、LCD、指针三种指示表头,现场读数十分方便。可用于测量粘稠、结晶和腐蚀性介质。
6、高准确度,高稳定性。除进口原装传感器已用激光修正外,对整机在使用温度范围内的 综合性温度漂移、非线性进行精细补偿.
溅射薄膜压力传感器主要技术参数
量 程: 0~1~150(MPa)
综合精度: 0.1%FS、0.2%FS、0.5%FS
输出信号: 1.0mV/V、1.5mV/V
供电电压: 10DCV(6~12DCV)
介质温度: -20~175℃
环境温度: 常温(-20~85℃)
外 形:M10×Φ17(Φ14,Φ19)×52
绝缘电阻: 大于2000MΩ (100VDC)
密封等级: IP65