*微电子研究所射频电源（RFGenerator）课题组从1984年开始研发电子管射频电源（13.56MHz），1985年研制成功，获得“六五”攻关荣誉证书以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。从2010年开始受到*规模集成电路制造装备与成套工艺专项（国家02重大专项）资金支持，研发晶体管射频电源，2011年研发成功300W-3000W晶体管射频电源（13.56MHz），获得第七届发明展览会银奖与第七届北京发明创新大赛金奖。经过二十多年的发展完善，产品的性能不断提高，规格齐全,年销售电子管与晶体管射频源占国内*的70%以上。目前射频电源组分为三个部门：产品研发部，产品生产部，产品推广与售后服务部。产品研发部：有专业研发人员7人，其中硕士及以上比例，具有教授...
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中国科学院微电子研究所
