章莹玲
经理
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说明变更的密封材料和泄漏的部件号
要订购其他东西“无"（标准），列出开始与符号
X“，其是每个符号为"身体表面处理“，"密封材料“
然后“更改的部分"在去年。
自动开关不适用于高温规格（温度
规格H0，H2，H3）。标准导线长度为0.5m。添加“L"到
零件号的Z后3时m的需要，“M"时，1米，和“Z"时，5微米。
注1）值在环境温度下，不包括气体渗透。
注2）参考部分第66页上的数字“建设"的改变
part.Number表示零件号“建设"的相应。
注1）主排气门电导是阀，在具有相同外形尺寸的“分子流"肘。Z初的排气阀导
值的“粘流" 。流量调节不能用于初始排气阀。
注2 ）真空润滑脂（氟基，Y - VAC2 ）被施加到真空组件的外部密封。
常闭（加压打开，弹簧密封） [两个主与初始排气阀）
1.3 ×10-10 ，在常温下（在标准材料，氟橡胶） ，不含气
机身：铝合金，波纹管：不锈钢316L ，
波纹管架：304不锈钢，氟橡胶（标准密封材料）注2 ）
0.4 〜0.7 [两个主与初始排气阀]
与低释气，低*设置，低气体渗透性
率，这是Z的密封材料，高真空。标准
SMC的高真空角阀材料是三菱。
是选择一种模式取决于其应用，因为
一种改进的材料化合物（ 3310-75 ），其降低了
重量减少率与O2等离子体也可以。
的Kalrez ㈢ 。的Kalrez ㈢是陶氏杜邦高弹性体的注册。
这种材料，全氟橡胶（FFKM ） ，具有优良的耐热和
耐化学性，但它的*设定为大的，并且特别
谨慎是必要的。变化是可提供改进的等离子
（O 2 ， CF 4）和微粒的电阻;因此，是选择
基于所述应用程序类型。
FKM 。是Chemraz ㈢的几个变化可用，这是明智
根据所的特定等离子体时，选择并。
化合物70W ：全氟橡胶（ FFKM ）不
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