高低温真空磁场探针台
产品概述：
高低温真空磁场探针台是具备提供高低温、真空以及磁场环境的高精度实验台，它的诸多设计都是的。因此，高低温磁场探针台的配置主要是根据用户的需求进行选配及设计。例如，要求的磁场值，均匀区大小、均匀度大小、样品台的尺寸等，均于磁力线在一定区域内产生的磁通密度相关联；位移台还可与磁流体密封搭配，实现水平方向二维移动和样品台360度转动；除此之外，该探针台和我司自主研发的高精度双极性恒流电源搭配使用户，可以磁场的高稳定性。因此，该类型的探针台主要依据客户的使用情况进行设计优化。
探针台配备4个（可选6个或8个）拥有高精度位移的探针臂，同时配有高精度电子显微镜，便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号，用来测试芯片、晶圆片、封装器件等，广泛应用于半导体工业、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。
应用范围：
磁特性测试、微波特性测试、直流、RF特性测试，微电子机械系统，超导电性测试，纳米电路的光电属性，量子点和线，高低温真空环境下的芯片测试，材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等。
可选附件：
þ 各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线
þ CCD或C-MOS视频成像装置
þ Chuck运动装置
þ 电磁铁系统/超导磁铁系统
þ 1Mpa正压系统升级
þ 超高温升级选件
þ 超高真空升级选件
þ 各类探针夹具
þ 屏蔽箱
þ 防振桌
þ 转接头
þ *真空泵
技术指标：
高低温真空磁场探针台 |
型号 | T8-EM4 | T8-EM5 | T8-EM7 |
真空度 | 上等高达真空10-8Pa |
腔体材质 | 无磁不锈钢或者铝合金 |
磁场范围 | 2000Gs @50mm | 5000Gs@50mm | 1T@50mm |
磁场方向 | 水平（可按用户要求设计成竖直方向的） |
配套电源 | 双极性电源±50A | 双极性电源±70A | 双极性电源±90A |
电源稳定性 | 50ppm（可选10ppm） |
制冷方式 | 液氦/液氮制冷/闭循环制冷机 |
温度范围 | 5K-325K可选500K |
控温分辨率 | 0.001K控温仪相关 |
温度稳定性 | 优于0.1K依赖于控温仪 |
温度传感器 | 硅二极管/PT100/CernoxTM |
传感器数量 | 样品台、防辐射屏、探针臂各一个 |
样品台尺寸（max） | Φ50mm，平整度≤7μm |
样品台固定方式 | 真空硅脂/弹簧压片 |
样品台材质 | 镀金无氧铜 |
显微镜行程 | X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z轴行程≥50.8mm |
放大倍数 | 16~100X/20~4000X |
真空腔观察窗尺寸 | 1inch | 1.5inch | 2inch |
窗口材料 | 熔融石英（可选K9、氟化钙等） |
探针臂数量 | 2、4、6、8可选 |
探针臂行程 | (X-Y-Z)25mm-25mm-12mm可更换 |
位移精度 | 10μm /2μm/1μm/0.7μm可选 |
接口形式 | 普通真空接头/三同轴接头/BNC/SMA等 |
探针直径 | 0.51mm |
针尖直径 | 10μm/5μm/1μm可选 |
探针材料 | 钨/GGB |
供电电压 | AC220V 50Hz/60Hz | AC380V 50Hz/60Hz |
