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半导体测量设备气氛型探针台

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产品型号JZM-63H JZM-100H

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更新时间：2023-02-27 07:56:56浏览次数：64次

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北京锦正茂科技有限公司

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产品简介

提供真空抽口*1、气体入口*1、气体出口*1、真空释放口*1；匹配观察窗，插拔样品卡，探针卡，鳄鱼夹。

详细介绍

气氛型高温探针台

JZM-63H JZM-100H

功能描述：

快速实现室温-200℃环境的控温，可在真空环境下对样品进行光学，电学测试，测试中也可实现惰性气体的快速充放。根据样品材料，形状不同可选择探针，插拔等多种安装测试方式。

气氛型高温腔参数：

①温度范围：室温-200℃；

②标准铂电阻温度计；

③控温精度：±0.1k；

④真空度：10E-3Pa；

⑤提供真空抽口*1、气体入口*1、气体出口*1、真空释放口*1；

⑥匹配观察窗，插拔样品卡，探针卡，鳄鱼夹。

关键词：标准电阻温度计

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