Instec高低温晶圆夹盘——来自液晶院校美国科罗拉多大学的精密温控装置
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功能特点 | | 可编程精密控温 | 超低的盘面温度梯度 | 尺寸超薄，可集成进探针台 | 旋盖设计，快速开合冷热台 | 视窗可拆卸，并且有吹干燥空气的视窗除霜设计 | 可变样品腔高度 | | | |
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配件配置 | | HCC302高低温晶圆夹盘 | 任选1台 | mK2000温度控制器有USB/IEEE等接口供选 | √ | 制冷系统 | 液氮泵 | 详询上海恒商 | | 液氮罐 | 容量2L/10L/30L | | 水泵冷却外壳防止过热，并可加速自然冷却 | | 载物台转接器防止设备滑动、摔落 | | *注：”√”表示出厂配置中包含此项。详询sales@hsinstrument.com |
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技术参数 | | 温度范围 | -120℃ ～310 ℃ 可提升温度上限 低温需用液氮 | 温度分辨率 | 0.001℃(at 100℃) | 温度稳定性 | ±0.05℃(at 100℃) | 温度均匀度 | ±0.1℃/cm可升级均匀性 | zui小控温速度 | ±0.1℃/小时 | zui大控温速度 | +50,-50℃/分钟(at 100℃) | 传感器/控制算法 | 100Ω铂质RTD PID控制可选线性直流电源 | 样品腔面积 | 48 mm x 60 mm | 样品观察范围 | 26.5 mm(适用外盖) | *注：1、表中制冷数据为使用LN2-P4液氮泵时的表现，液氮泵型号不同，制冷表现也会有差异，请悉知。 2、性能可变通，详情请sales@hsinstrument.com |
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高低温晶圆夹盘常用产品一览表
型号 | 温度范围1 | 样品区 | 三轴 | 方形 | 圆形 | 帕尔贴制冷2 |
HCC206R | -100℃ to 200℃ | 152 mm 直径 | | | Yes | |
HCC206RT | -100℃ to 200℃ | 152 mm直径 | Yes | | Yes | |
HCC306R | -100℃ to 310℃ | 152 mm直径 | | | Yes | |
HCC306RT | -100℃ to 310℃ | 152 mm直径 | Yes | | Yes | |
HCC208R | -80℃ to 200℃ | 203 mm直径 | | | Yes | |
HCC208RT | -80℃ to 200℃ | 203 mm直径 | Yes | | Yes | |
HCC308R | -80℃ to 310℃ | 203 mm直径 | | | Yes | |
HCC308RT | -80℃ to 310℃ | 203 mm直径 | Yes | | Yes | |
HCC20CR | -60℃ to 200℃ | 304 mm直径 | | | Yes | |
HCC20CRT | -60℃ to 200℃ | 304 mm直径 | Yes | | Yes | |
HCC30CR | -60℃ to 310℃ | 304 mm直径 | | | Yes | |
HCC30CRT | -60℃ to 310℃ | 304 mm直径 | Yes | | Yes | |
HCC214S | -120℃ to 200℃ | 101 mm x 101 mm | | Yes | | |
HCC314S | -120℃ to 310℃ | 101 mm x 101 mm | | Yes | | |
HCC216S | -100℃ to 200℃ | 152 mm x 152 mm | | Yes | | |
HCC316S | -100℃ to 310℃ | 152 mm x 152 mm | | Yes | | |
HCC218S | -80℃ to 200℃ | 203 mm x 203 mm | | Yes | | |
HCC318S | -80℃ to 310℃ | 203 mm x 203 mm | | Yes | | |
HCC602 | -190℃ to 600℃ | 35 mm x 35 mm | | Yes | | |
HCC302 | -120℃ to 310℃ | 48 mm x 60 mm | | Yes | | |
TC102S | -25℃ to 90℃ | 40 mm x 40 mm | | Yes | | Yes |
TC104S | -25℃ to 90℃ | 100 mm x 100 mm | | Yes | | Yes |
1部分型号可扩大温度范围，请上海恒商以了解。
2帕尔贴制冷：冷热台使用帕尔贴冷却，无需附加任何制冷配件即可制造低温环境。（例如LN2-SYS液氮冷却装置、WPC3A/WPC3U液冷装置）
欲了解更多型号详请，请咨询上海恒商
另：Instec英斯特科的主要产品包括：
高精度温控装置
冷热台
高低温晶圆夹盘
冷热平板
液晶参数测试仪
液晶测试空盒
液晶材料
欲咨询产品请本公司上海恒商精密仪器有限公司
本公司为美国Instec中国区总代理、瑞典FLCE(FLC Electronics)中国区*代理，不经过中间商直接与原厂接触，因此能提供*惠的价格。
