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华测真空高低温探针台

参   考   价: 14543

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具体成交价以合同协议为准

产品型号

品       牌

厂商性质生产商

所  在  地北京市

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更新时间:2024-08-20 18:26:23浏览次数:783次

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产地 国产 环境温度范围 高温,低温,常温℃
加工定制 执行质量标准 国标
华测真空高低温探针台,探针台是一种辅助执行机构,测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台(chuck)上,在显微镜配合下,X-Y移动器件,找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮,控制前部探针(射频或直流探针),精准扎到被测点,从而使其讯号线与外部测试机导通,通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。

 

Huace-6S高低温探针台

高低温探针台

     探针台是一种辅助执行机构,测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台(chuck)上,在显微镜配合下,X-Y移动器件,找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮,控制前部探针(射频或直流探针),精准扎到被测点,从而使其讯号线与外部测试机导通,通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。

产品特点及应用

◆可用于12英寸以内样品测试;

◆ 采用密闭腔结构,屏蔽外部电信干扰同时保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜;

◆ 优化的腔体保温结构可以极大的减少液氮消耗量;

◆ 可升降调节适合加装探针卡;

◆ 可搭配多种类型显微镜;

◆ 结构模块化设计,可无缝升级;

◆ 探针台可根据客户要求定制。

 

台体规格

尺寸:6英寸/8英寸/12英寸;
水平旋转:可360°旋转,可微调15°,精度0.1°,带角度锁死装置;

X-Y移动行程:6英寸×6英寸/8英寸×8英寸/12英寸×12英寸;

X-Y移动精度:10μm/1μm
样品固定:真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附环;
针座平台:U型针座平台,**可放置6~12个探针座;
平台升降:可快速升降10mm/可微调升降10mm
背电极测试:样品台电学独立悬空,4mm插孔可接背电极;

温度范围:-80~+400℃;

温度精度:0.01/0.1/1℃;

尺寸:840mm*600mm*700mm/950mm*700mm*700mm高;
设备重量:约40/60KG

 

光学系统

显微镜类型:单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜;
放大倍率:16X-200X/20X-4000X
移动行程:水平方向绕立柱旋转/XY轴移动4英寸,Z轴行程50.8mm
光源:外置LED环形光源/同轴光源;
CCD
200万像素/500万像素/1200万像素;

定位器

X-Y-Z移动行程:12mm*12mm*12mm
移动精度:10μm/2μm/0.7μm/0.5μm
吸附方式:磁力吸附/真空吸附;
线缆:同轴线/三轴线;
漏电精度:10pA/100fA/10fA

固定探针:弹簧固定/管状固定;
接头类型:BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子;
针尖直径:0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm
针尖材质:钨钢;铍铜;

可选附件

加热台;
显示器;
转接头;
射频测试配件;
屏蔽箱;

光学平台;
镀金卡盘;
光电测试配件;
显微镜快速倾仰装置;

激光系统;

探针卡夹具;



华测真空高低温探针台

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