华测真空高低温探针台 返回列表页

Huace-6S高低温探针台

高低温探针台

     探针台是一种辅助执行机构，测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台（chuck）上，在显微镜配合下，X-Y移动器件，找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮，控制前部探针（射频或直流探针），精准扎到被测点，从而使其讯号线与外部测试机导通，通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。

产品特点及应用

◆可用于12英寸以内样品测试；

◆ 采用密闭腔结构，屏蔽外部电信干扰同时保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜；

◆ 优化的腔体保温结构可以极大的减少液氮消耗量；

◆ 可升降调节适合加装探针卡；

◆ 可搭配多种类型显微镜；

◆ 结构模块化设计，可无缝升级；

◆ 探针台可根据客户要求定制。

台体规格

尺寸：6英寸/8英寸/12英寸；
水平旋转：可360°旋转，可微调15°，精度0.1°，带角度锁死装置；

X-Y移动行程：6英寸×6英寸/8英寸×8英寸/12英寸×12英寸；

X-Y移动精度：10μm/1μm；
样品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环；
针座平台：U型针座平台，**可放置6~12个探针座；
平台升降：可快速升降10mm/可微调升降10mm；
背电极测试：样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极；

温度范围：-80℃~+400℃；

温度精度：0.01℃/0.1℃/1℃；

尺寸：840mm长*600mm宽*700mm高/950mm长*700mm宽*700mm高；
设备重量：约40/60KG；

光学系统

显微镜类型：单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜；
放大倍率：16X-200X/20X-4000X；
移动行程：水平方向绕立柱旋转/XY轴移动4英寸，Z轴行程50.8mm；
光源：外置LED环形光源/同轴光源；
CCD：200万像素/500万像素/1200万像素；

定位器

X-Y-Z移动行程：12mm*12mm*12mm；
移动精度：10μm/2μm/0.7μm/0.5μm；
吸附方式：磁力吸附/真空吸附；
线缆：同轴线/三轴线；
漏电精度：10pA/100fA/10fA；

固定探针：弹簧固定/管状固定；
接头类型：BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子；
针尖直径：0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm；
针尖材质：钨钢；铍铜；

可选附件

加热台；
显示器；
转接头；
射频测试配件；
屏蔽箱；

光学平台；
镀金卡盘；
光电测试配件；
显微镜快速倾仰装置；

激光系统；

探针卡夹具；

华测真空高低温探针台