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新宇宙气体检测部PS-7

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  • 北京中盛恒远科技有限公司
  • 2021-09-15 18:30:12
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【简单介绍】

新宇宙气体检测部PS-7

【详细说明】



产品简介:
日本cosmos新宇宙带显示的气体检测部PS-7
型号:新宇宙式特气检测部 PS-7(半导体工厂用)
特性:专为半导体行业定制,传感器自由更换,维护方便
检测对象:半导体材料气体


参数特点:
带有气体采样流量自动控制功能
LCD显示,现场状态一目了然
实现小型、轻量化
可简单地更换传感器和采样气路
带有防止传感器单元错误插入的功能
可以设定多样的维护模式
组合对应热分解单元与定电位电解式传感器,能检测NF3等
实现了用PDA读取数据
符合CE规格,SEMI规格
规格
型号
PS-7
标准型
附带转换器组件型
检测原理
•定电位电解式、热丝型半导体式、隔膜电流电池式
•热分解+定电位电解式
采样方式
泵吸引式(0.5L/min吸引流量 自动控制)
采样配管
特氟隆外径6内径4mm、配管距离在20m以内
气体浓度显示
液晶数字四位显示(附带单位)20分割条形图
报警接点
•气体报警(1段以及二级) 报警、红色液晶指示灯闪烁、液晶画面 第1段 ALARM1 第1段 ALARM1 ALARM2显示
•流量降低报警 堵塞指示显示:流量显示为低速运转 报警:黄色LED指示灯闪烁 :液晶画面 FLOW显示以及流量显示为停止运转状态
•传感器故障报警/传感器误插入报警 报警:黄色LED指示灯闪烁 :液晶画面 SENS.显示 •热分解炉断线报警 报警:黄色LED指示灯闪烁 :液晶画面 CONV.显示
外部输出
气体浓度模拟输出 DC4~20mA(与电源的负极通用) 气体报警接点(1段以及两极) 1a无电压接点/自动复位 故障报警接点 (开路集电极/自动复位)
适合电缆线
控制用屏幕电缆线(Φ8~11mm)x2 3芯或者4芯 使用温度湿度范围 0℃~40℃(但是不能有剧烈的温度变化)、30~85%RH(但不能结露)
使用电源
DC24V±10%
消耗电力
7w
尺寸
•W62xH124xD143mm(除去突起物)
•W62xH124xD143mm(除去选购件和突起物)
重量
1.0kg
安装方法
壁挂式

    
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