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可编程温控热蒸发镀膜仪镀膜机

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更新时间：2022-10-03 09:30:54浏览次数：1771次

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郑州成越科学仪器有限公司

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产品简介

产地	国产	加工定制	是

可编程温控热蒸发镀膜仪
共有4个蒸发源坩埚和精密的可编程温度控制。可以使用四个蒸发坩埚沉积多种不同的材料，以在相同的腔室气氛中一个接一个地生长多层膜。该系统适用于涂覆大多数金属和有机材料薄膜，尺寸至多为2“从200ºC至1500ºC（或200ºC-1700ºC，可选B型热电偶）。

详细介绍

简单介绍：

可编程温控热蒸发镀膜仪一款紧凑型热蒸发系统，共有4个蒸发源坩埚和精密的可编程温度控制。可以使用四个蒸发坩埚沉积多种不同的材料，以在相同的腔室气氛中一个接一个地生长多层膜。该系统适用于涂覆大多数金属和有机材料薄膜，尺寸至多为2"从200ºC至1500ºC（或200ºC-1700ºC，可选B型热电偶）。

详情介绍：

产品特点：

1. 280 mm外径×260 mm内径×310 mm高度石英腔，便于清洁和装载样品
2. 2"可旋转蒸发源，用于均匀的薄膜涂层
3.钨丝圈加热器和氧化铝坩埚，适用于高达1700℃的高温涂层
4.精密温度控制，具有30个可编程段和+/-1℃精度
5.通过可选的涡轮泵可以实现高达1.0E-5 Torr的高真空
6.内置气体流量端口和阀门，用于腔室净化和CVD可能性

可编程温控热蒸发镀膜仪技术规格：

输入功率

输入电压：AC 208 - 240 V 50/60 Hz，单相（通过1500W变压器可提供110V AC）

输入功率：1200 W

输出功率：12 V，max电流30 A，*工作电流<30 A.

电源线不带插头

温度控制和加热器

• 四个氧化铝蒸发坩埚，每个容量3 mL，四个热源不能同时使用，多层沉积将逐一进行。

• 带有热电偶的钨丝圈加热器内置在氧化铝坩埚的底部（用于温度控制）。

标准S型热电偶（包含和安装），从200℃-1500℃加热

可选B型热电偶（额外收费），1200℃-1700℃加热

• 一个数字温度控制器，具有30个可编程段和+/- 1℃精度。