北京吉兆源科技有限公司
北京吉兆源科技有限公司致力于开发、生产射频电源及匹配器等*。产品全国三十多个省、市、自治区。我们主要服务于半导体、真空和太阳能领域,以*的技术作为企业发展的源动力,不断创新、提高质量来国内射频技术的发展。产品种类: 等离子体清洗射频电源、射频磁控溅射镀膜电源、等离子刻蚀射频电源、小功率射频电源和医疗美容用射频电源等领域。
500W标准射频电源
标准系列射频电源拥有体积小、重量轻、高效率等优点。大屏幕液晶显示:设定功率、入射功率、反射功率、状态等参数,同时还可以显示匹配器的运行参数。并且通过数字通讯技术连接射频电源和匹配器,从而实现在射频电源面板上就可以操作匹配器。电源融合工业应用所需的大部份功能,都可以通过面板操作设定界面实现。包括:控制方式选择:面板控制、模拟口控制、数字通讯控制。可以设定通讯参数,通讯地址等。脉冲参数:脉冲频率、占空比等。完备的接口控制方式,使其方便与现在通用的射频电源:AE、MKS、COMDEL等品牌实现互换
500W | |||
输出功率 | 0-500W | 模拟控制接口 | DB15 |
功率稳定度 | ≤±0.5% | 输出接口 | N/UHF |
输出频率 | 13.56MHz | 尺寸 | 440(宽)×380(深)×84(高)标准2U |
频率信号 | 标准正弦波 | 面板尺寸 | 480(宽)×88(高) |
输入电压 | AC180-250V | 重量 | 8.5Kg |
输入电流 | 5A | 脉冲 | 有 |
输出阻抗 | 50欧 | 脉冲频率 | 100-10KHz |
承受驻波比 | >3.0 | 占空比 | 10%-90% |
冷却方式 | 风冷 | 主从模式CEX | 有 |
通讯口 | RS232 RS485 标准Modebus | 匹配器控制 | 有 |
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