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压力传感器工作原理及特点

时间:2009/2/24阅读:918
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压力传感器工作原理及特点 
压力传感器工作原理及特点

压阻式
压力传感器采用集成电路工艺技术,在硅片上制造出四个等值的薄膜电阻并组成电桥电路,当不受力作用时,电桥处于平衡状态,无电压输出;当受到压力作用时,电桥失去平衡而输出电压,且输出的电压与压力成比例。
  压阻式压力传感器具有以下特点:
  ①压阻式
压力传感器的灵敏系数比金属应变式压力传感器的灵敏度系数要大50-100倍。有的时候压阻式压力传感器的输出不需要放大器就可直接进行测量。
  ②由于它采用集成电路工艺加工,因而结构尺寸小,重量轻。
  ③压力分辨率高,它可以检测出像血压那么小的微压。
  ④频率响应好,它可以测量几十千赫的脉动压力。
  ⑤由于
传感器的力敏元件及检测元件制在同一块硅片上,所以它工作可靠,综合精度
高,且使用寿命长。
  ⑥由于采用半导体材料硅制作,传感器对温度比较敏感,如不采用温度补偿,其温度误差较大。

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