北京金时速仪器设备经营部
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阅读:89发布时间:2016-10-10
匹配器系列
手动匹配器
参数 | 指标 |
阻抗匹配范围 | (2.7~45)Ω-j(0~70)Ω) |
使用环境温度 | 0~40℃ |
相对湿度 | <80% |
结构尺寸 | 500W:440×220×100mm3;面板480×100mm2 1000W:440×320×120mm3;面板480×140mm2 |
自动匹配器
自动匹配器
产品特点及性能指标
1、自动快速调节匹配网络
2、实时显示入射功率及反射功率变化,指示精度3%
3、显示自编压
4、实时显示电容位置变化,可明显展示工艺阻抗变化的特征
5、采用真空电容调节(1KW以上)
6、具有自动控制和手动控制两种模式
7、电源输入:220V
8、提供配合射频电源的反射功率保护信号,与射频电源配合使用
9、直流电机驱动,保证运行期间合适的速率,从而提高匹配网络的稳定性
10、规格:500W—10KW
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