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匹配器系列 技术资料

阅读:89发布时间:2016-10-10

匹配器系列

 

手动匹配器

参数

指标

阻抗匹配范围

(2.7~45)Ω-j(0~70)Ω)

使用环境温度

0~40℃

相对湿度

<80%

结构尺寸

500W:440×220×100mm3;面板480×100mm2

1000W:440×320×120mm3;面板480×140mm2

自动匹配器

自动匹配器

产品特点及性能指标

1、自动快速调节匹配网络

2、实时显示入射功率及反射功率变化,指示精度3%

3、显示自编压

4、实时显示电容位置变化,可明显展示工艺阻抗变化的特征

5、采用真空电容调节(1KW以上)

6、具有自动控制和手动控制两种模式

7、电源输入:220V

8、提供配合射频电源的反射功率保护信号,与射频电源配合使用

9、直流电机驱动,保证运行期间合适的速率,从而提高匹配网络的稳定性

10、规格:500W—10KW


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