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高性能匀胶机TA-280 旋涂仪 旋转涂层机 技术资料

阅读:73发布时间:2016-11-4

高性能匀胶机TA-280 旋涂仪 旋转涂层机

 

 

产品简介:TA-280高性能匀胶机旋涂仪     

主要用于液体,胶体在材料表面形成薄膜。

      TA-280高性能匀胶机旋涂仪 适用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷,不锈钢,金属等制版表面涂覆工艺。

      TA-280高性能匀胶机旋涂仪 可在科研,教育,生产中应用。

  

产品型号:

      TA-280匀胶机 

      TA-280匀胶机: 工作腔内径D290mm 适合直径D10mm-280mm园片及 200mmX200mm方形片。

主要特点:

 *TA-280高性能匀胶机旋涂仪 高精度26程序控制器:

     可设定存储26个不同样片的旋转涂敷工艺过程;

     每个涂敷工艺过程可以设置51步不同的速度状态;

     加速度(及负加速度),可设置。

     中英文两套操作系统供选择。

    操作系统内驻留涂敷工艺过程模板程序,方便快速调试并存储程序。

    设置程序:标准通用符号,6键操作,人机交互式对话,提示操作。

    无需培训,上手就会操作。

*TA-280高性能匀胶机旋涂仪 可连接滴胶机,自动控制在必要的瞬间滴胶,自动控制重复定量滴胶。

    的重复的自动控制操作,是人工不可能及的。

*TA-280高性能匀胶机旋涂仪 工作腔可氮气保护。

    我们设备通过有效的惰性气体保护机构设计,对所有的环境变量(温度,湿度,洁净度)有效控制,

    这一点*针对科研实验的苛刻要求而开发。

*TA-280高性能匀胶机旋涂仪 真空吸片,爪卡机构。2种工作状态随意选择。 爪卡机构工作状态无需真空泵。方便有空隙的材料及厚重材料涂胶。

*TA-280高性能匀胶机旋涂仪 中心结构定位:圆形基片使用工具完成中心定位。方便快捷,定位精度高。

    主机标准配备一片真空吸盘即可满足(TA-280适用3英寸-11英寸基片);(TA-360适用3英寸-14英寸基片)。

    小于3英寸可使用定制真空吸盘。

*TA-280高性能匀胶机旋涂仪 卡盘,吸盘品种丰富,适应各种需要。

*TA-280高性能匀胶机旋涂仪 真空吸片系统更安全:

    安装有真空度传感器,涂敷工作过程电脑实时检测系统真空度,必须在安全的真空度下,

    电机启动,运行。保障可靠吸片,不飞片。运行中失去真空,系统保护性停机。

*TA-280高性能匀胶机旋涂仪 伺服电机,转速精度更高:300 - 10000 转/分,转速稳定性:+ - 0.1 % zui高转速10000转/分

*TA-280高性能匀胶机旋涂仪 设备所用的天然聚丙烯(NPP)材质,食品级卫生材料,易清洁,材质性能稳定,绿色环保型实验室的选择。

技术参数:

        单相交流电源:220V.50Hz

        电机功率:200W

        转数:300 - 10000 转/分。

        可设定时间:1---9999秒。

标准包装:尺寸: 490mm宽 x 380mm深 x 310 mm高 ,


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