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KW-4A/KW-4B匀胶机

阅读:320发布时间:2017-3-20

KW-4A/KW-4B匀胶机

 

英文叫SpinCoater或者SpinProcessor,又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机。

 

KW系列匀胶机适应于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。该产品具有转速稳定和启动迅速等优点,并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。通常配无油真空泵一起使用。

 

目前型号有KW-4A型,KW-5型与新型号KW-4B型。

基于中科院微电子所技术升级改造

产品主要特点:

1、开关电流调速,稳定性能更好,转速调节以数字显示为准。

2、转速在500~8000转/分范围内非常稳定。

3、采用双转速。在启动之后,先以低速运转,使胶摊开,然后自动转换到高速运转。两种转速及相应的时间分别可调,时间分别控制在1~18秒和3秒~1分钟。

4、具有定时功能。

5、测速采用光电的办法,产生光电脉冲,由晶体分频测速准确性高。

6、”吸片”采用电磁阀控制气路,一个气泵可同时带几台匀胶机工作,适合流水线的工艺,提高了效率。

7、在安装结构上,采取了减振措施,保证了在运转时噪音低。

 

性能指标:

KW-4A型匀胶机

1、调速范围和匀胶时间

Ⅰ档 调速范围:500-2000转/分  Ⅰ档 匀胶时间:2-18秒

Ⅱ档 调速范围:1300-8000转/分  Ⅱ档 匀胶时间:3-60秒

2、适用:Φ5-Φ120mm硅片及其它材料等匀胶。

3、LED数字显示,转速稳定度:±1%,胶的均匀性:±3%。

4、电机功率:40W,单相220V供电

5、真空泵抽气速率≥60升/分

6、体积小,重量轻,操作简便

7、KW-4A型匀胶机新增功能:1.按键互锁防止飞片。2.面板控制泵的开关。3.带显示功能

仪器尺寸:210×220×160mm

 

 

型KW-4B型(KW-4A型升级版)匀胶机

1、调速范围和匀胶时间

Ⅰ档 调速范围:50-9000转/分  Ⅰ档 匀胶时间:1-999秒

Ⅱ档 调速范围:50-9000转/分  Ⅱ档 匀胶时间:1-999秒

2、适用:Φ5-Φ100mm硅片及其它材料等匀胶。

3、双LED数字显示,带显示功能,采用闭环调节方式,转速稳定度:±0.5%,胶的均匀性:±1%。

4、单按键控制电机启动,暂停,复位,单片机延时控制电磁阀启动与停止。

5、电机功率:40W,单相100-240V供电

6、真空泵抽气速率≥60升/分

7、机身采用不锈钢材质,体积小,重量轻,操作简便

仪器尺寸:210×220×160mm

KW-5型匀胶机

1、调速范围和匀胶时间

Ⅰ档 调速范围:500-1000转/分  Ⅰ档 匀胶时间:2-18秒

Ⅱ档 调速范围:1000-5000转/分  Ⅱ档 匀胶时间:3-60秒

2、适用:Φ100-Φ200mm(4”~8”)硅片及其它材料等匀胶。

3、LED数字显示,转速稳定度:±1%,胶的均匀性:±5%。

4、电机功率:180W,三相380V供电

5、真空泵抽气速率60升/分

6、设备尺寸:500×500×460mm

 

 

 


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