高温超导薄膜单晶基片SrTiO3 钛酸锶
钛酸锶（SrTiO3）是当前应用zui广的高温超导单晶基片之一。它与YBaCuO等高温超导材料的晶格匹配好，无孪晶结构，物理、机械性能优良。使用多种制膜技术（如磁溅射，脉冲激光沉积，激光分子束外延等）制作的多种高温超导薄膜（Y-系，Bi－系，La-系等）均可得到 TCO≥90°K, JCO≥106A/cm2等指标。SrTiO3也是高温超导结技术（使用双晶基片或台阶状基片）及基片台阶化（按特定角度斜切并热处理）的单晶材料。
主要技术指标:
晶系 | 立方晶系 |
晶格常数（ ） | a=3.905 |
熔点（℃） | 2080 |
密度（g/cm3 ） | 5.122 |
比热（cal/g ℃） | 0.13 |
莫氏硬度 | 6-6.5 |
热膨胀系数（/ ℃） | 9.4x10-6 |
介电常数 | ε∞= 5.20 |
特点 | 与YBCO（3.866）匹配 |
生长方法 | 火焰法 |
基片规格：
| 尺寸: | 10x3，10x5，10x10，15x15，，20x15，20x20， |
| Ф15,Ф20，Ф25 等 |
| 或按用户要求特殊加工 |
| 厚度: | 0.5mm，1.0mm |
| 尺寸公差: | <±0.1mm |
| 厚度公差: | <±0.015mm(特殊要求可达到<±0.005mm) |
| 表面抛光: | 单面或双面 |
| 取向： | ＜100＞ ＜110＞ ＜111＞ 等； |
| 晶面定向精度: | ±0.5° |
| 边缘定向精度: | 2°（特殊要求可达1°以内） |
| 斜切晶片： | 可按特定需求，加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜（倾斜角1°－45°）的晶片 |
| Ra | ≤5Å（5µm×5µm） |
