北京金时速仪器设备经营部
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射频电源（固态RFG-600型）
采用MOSFET功率放大器,开机无需预热
精密功率控制,zui低可实现1W的稳定功率输出
面板/模拟口/RS232/RS485/USB控制
漏电保护,过载保护,过热保护,驻波保护
具有外部时钟同步（CEX）功能
射频电源（固态RFG-600型）
产品简介
RFG-600型固态射频电源是RFG系列射频电源之一，可以产生固定频率、具有一定功率的射频正弦波。
产品主要特征：
采用MOSFET功率放大器,开机无需预热
精密功率控制,zui低可实现1W的稳定功率输出
面板/模拟口/RS232/RS485/USB控制
漏电保护,过载保护,过热保护,驻波保护
具有外部时钟同步(CEX)功能
射频末级效率85%,整机效率70%以上
适用场合
半导体工艺、科学实验中的等离子体发生；感应加热；医疗等等。
电气参数 | 指标 | |
输出功率 | 1W-600W连续可调，正反向功率真彩色LCD智能显示 | |
射频末级效率 | ≥85％（600W输出时） | |
功率稳定度 | ≤±0.5％(额定功率输出时) | |
频率稳定度 | ±10ppm | |
承受zui大反射功率 | 120W | |
zui大输出功率裕度 | 20% | |
频率信号 | 13.56MHz标准正弦波 | |
整机效率 | ≥70% | |
控制信号与后面板电气连接
描述 | 说明 |
模拟口 | 15针D型（阴性）（选配） |
串口 | RS232/RS485/USB通讯协议（选配） |
外部时钟同步（CEX） | BNC(阴性) |
射频输出口 | 标准同轴接头输出（M/N型，阴性） |
交流供电口 | AC220V供电（50/60Hz） |
冷却方式 | 强制风冷 |
机械尺寸
描述 | 说明 |
体积 | 140mm(H)X270mm(W)X400mm(D) |
重量 | 15kg |
前面板指示 | 4.3寸TFT真彩数字屏（16：9），分辩率480X272，LED背光，纯铝旋钮 |
前面板颜色 | 像牙白（可根据客户需求进行定制） |
使用环境
描述 | 说明 |
环境温度 | 0-40℃ |
相对湿度 | <85% |
射频电源（固态RFG-600型）
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