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WJ-100C型微波光电导载流子复合寿命测试仪

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更新时间:2016-03-28 17:05:21浏览次数:156次

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产品简介

WJ-100C型微波光电导载流子复合寿命测试仪
是参照半导体设备和材料组织SEMI标准MF1535-0707及国家标准GB/T 26068-2010设计制造。

详细介绍

WJ-100C型微波光电导载流子复合寿命测试仪

WJ-100C型微波光电导载流子复合寿命测试仪是参照半导体设备和材料组织SEMI标准MF1535-0707及国家标准GB/T 26068-2010设计制造。并且我单位是微波反射法国家标准起草单位之一。本设备采用微波反射无接触光电导衰退测量方法,适用于硅块、1mm厚度以下硅片、电池片少数载流子寿命的测量,提供无接触、无损伤、数字显示的快速测量。寿命测量可灵敏地反映半导体重金属污染及缺陷存在的情况,是半导体质量的重要检测项目。

寿命测量范围:0.25μs-10ms;样品电阻率下限>0.5Ω·cm。

读数方式:数字直读。

                                                  

关键词:标准
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