北京金时速仪器设备经营部
LT-1B高频光电导少数载流子寿命测试仪
是参照半导体设备和材料组织SEMI标准MF1535-0707及国家标准GB/T 26068-2010设计制造。
LT-1B高频光电导少数载流子寿命测试仪
仪器采用GB/T1553-1997中硅单晶少数载流子寿命测定高频光电导衰减法,主要用于测量高阻长寿命单晶,现在已经在天津环欧半导体材料有限公司、*公司第四十六研究所、峨嵋半导体材料厂、国泰半导体材料有限公司等投入使用。
技术参数:
(1)测试单晶电阻率范围:ρ﹥3Ω•cm
(2)可测单晶少子寿命范围:5μs~10000μs
(3)红外光源配置: 波长1.06~1.09μm
(4)高频振荡源:用石英谐振器,振荡频率:30MHZ
(5)前置放大器,放大倍数约25,频宽2HZ-2MHZ
(6)可根据已知寿命样品调校测量寿命值,可调范围广
(7)仪器测量重复误差:﹤±25%
(8)测量方式:采用数字示波器直接读数方式
(9)仪器消耗功率:﹤50 W
(10)仪器工作条件:温度:10-35℃,湿度﹤65%
使用电源:AC 220V,50HZ(建议配置稳压电源)
(11)可测单晶尺寸:
断面竖测:直径25mm-150mm;厚度2mm-500mm
纵向卧测:直径5mm-20mm;长度50mm-800mm
LT-1B高频光电导少数载流子寿命测试仪
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