北京中宝辰科技有限公司
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ALICAT截止阀质量流量控制器21VS型美国ALICAT21VS系列带截止阀抗腐蚀型质量流量控制器，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动
应用及案例
● 大学/研究所
● 环境监测
● 真空行业及镀膜
● 工业炉窑
● 汽车制造
● 计量
● 过程工艺气体测量
产品特色
● 数字化产品
● 带气动截止阀，泄漏率低
● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
● 多参数控制:体积流量、质量流量和压力
● 可选高精度 优于0.5%
● 高量程比 100:1
● 响应时间快 仅需100ms(可调)
● 内置128种常规以及腐蚀性气体
● 可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气
● 可适用于诸多腐蚀性气体
性能指标
介质要求 洁净、干燥的气体，腐蚀和非腐蚀性均可
介质种类 内置了128种气体，请参考“产品资料下载”中气体兼容表一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量 程 从0-0.5SCCM 到 0-20SLPM（）
量 程 比 100:1
显示流量：102.4%FS
显 示 屏 带按键，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏
显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精 度 ± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-读数 FS-满量程
高 精 度 ±(0.4%RD + 0.2%FS)，选配
仅适用于量程为5SCCM-500SLPM的设备
阀门泄漏率 不超过1x10 atm scc/sec (He)
重 复 性 ± 0.2% FS
零点漂移&满量程漂移 0.02% FS / ℃ / Atm
响应时间 100ms 预热时间：<1s
标定工况 25℃ & 100kPa 绝压
20℃ & 100kPa 绝压
0 ℃ & 100kPa 绝压 (三种工况现场可切换)
工作温度 -10 ～ +50 ?C
工作湿度 0-99%,无冷凝
标准工作压力 1MPa 表压
标准极限耐压 1.2MPa 表压
中压选项 2MPa
数字输入/输出信号：RS232或RS485或Modbus或Profibus*
模拟输入/输出信号：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA可选第二路模拟输出：质量流量或体积流量或压力或温度
供电电压 7-30 Vdc (如选4-20 mA输出，须为15-30 Vdc)
供电电流 250mA ～ 750mA
电气接口 8针Mini-DIN或DB9或DB15或6针工业接头
材 质 316L不锈钢、303不锈钢, 430FRSS, FFKM (Kalrez)
可根据特殊气体选用Viton, EPDM, Buna, Neoprene
安装方式 对位置无要求
防护等级 IP40
* 如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及供电电流需咨询我们
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