介质种类 内置了98种气体，请参考背面
一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量 程 从0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM
测量范围 0.01～99%
显示流量 128%满量程
显 示 屏 带按键背光开关，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏
显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精 度 ± （0.8%读数 + 0.2%满量程）见上段精度升级部分
± （0.4%读数 + 0.2%满量程）（可选）
累计流量精度 流量精度之外增加±0.5%额外误差
重 复 性 ±（0.2%读数+0.02%满量程）
质量流量温度漂移 0.03%满量程当温度从25℃起每变化1℃
质量流量压力漂移 ±（0.08 % 读数 + 0.02 % 满量程）当压力从标定压力起，每变化1bar
响应时间 优于10 ms
预热时间 < 1 s
标定工况 25 ℃&1 Atm（可现场在测量范围内随意更改）
工作温度 -10 ～ 60 ℃（可选高温/低温选项）
温度精度 ± 0.75 ℃
工作湿度 0 ～ 95 %，无冷凝
工作压力 0.3 MPa表压，进出口允许瞬时压差70 Kpa
操作压力 如果不做真空特殊标定，建议在绝压80 KPaA以上使用；其他真空压力建议做特殊标定
压力精度 ±0.5%读数（读数＞1 Atm），或±0.1PSIA（＜1Atm）
满量程压损 参考详细压损表
数据刷新频率 数字信号40 Hz@ 19200波特率；
模拟信号：1000 Hz
屏幕刷新频率 10 Hz
数字输入/输出信号 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*
模拟输入/输出信号 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20mA
可选第二路模拟输出 质量流量、体积流量、压力、温度
模拟信号精度 在基础误差上额外增加 ± 0.1 % 满量程误差
供电电压 7 - 30 VDC（如选4 - 20 mA输出，须为15 - 30 VDC）
供电电流 40 mA，80 mA（4 - 20 mA 或 0 - 10 VDC）
电气接口 DB9，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN
泄漏率（外漏） 选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 质 302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、铝
过程连接 详情参考压损表
安装方式 对位置无要求
防护等级 IP40
认 证 ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA （可选）
* 如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及供电电流需来电垂询
选项配件
