北京中宝辰科技有限公司
北京中宝辰科技有限公司
ALICAT气体质量流量控制器-耐腐蚀型21S系列316L量程0.5SCCM-6000SLPM，优于1%的精度，控制范围广，优于100ms响应时间美国ALICAT21S系列抗腐蚀型质量流量控制器，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动
量程0.5 SCCM - 6000 SLPM，优于1 %的精度，控制范围广，优于100 ms 响应时间
美国ALICAT 21S系列抗腐蚀型质量流量控制器，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。具有NIST可溯源校准证书。
可用于快速精确地测量并控制腐蚀性气体（如：NH3、H2S、SiH4等）的质量流量、体积流量、压力，并显示气体温度，适用于多种流量测控场合。
产品特色
● 数字化产品
● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
● 多参数控制，如体积流量、质量流量和压力
● 可选高精度：优于0.5%
● 可测范围广， 1~99%
● 响应时间快，优于100 ms
● 内置130种常规及腐蚀性气体
● 可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气
● 可适用于诸多腐蚀性气体
性能指标
介质要求 洁净、干燥的气体，腐蚀和非腐蚀性均可
介质种类 内置了130种气体，请参考气体兼容表
一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量 程 从0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM（）
测量和控制范围 1～99%
显示流量 128 %满量程
可控流量 102.4 %满量程
显 示 屏 带按键，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏
显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精 度 ±（0.8 %读数 + 0.2 %满量程）
±（0.4 %读数 + 0.2 %满量程）（可选）,仅适用于量程为5 SCCM - 500 SLPM的设备
累计流量精度 流量精度之外增加±0.5%额外误差
重 复 性 ± 0.2 %满量程
零点漂移 & 满量程漂移 0.02% 满量程 / ℃ / Atm
响应时间 优于100 ms
预热时间 ＜ 1 s
标定工况 25 ℃ & 1 Atm（其它标况可调）
工作温度 -10 ～ 60 ℃（可选高温至100℃）
温度精度 ± 0.75℃
工作湿度 0 ～ 99%，无冷凝
工作压力 1 MPa 表压
操作压力 如果不做真空特殊标定，建议在绝压80KPaA以上使用；其他真空压力建议做特殊标定
满量程压损 参考详细压损表
数据刷新频率 数字信号40 Hz@19200波特率；
模拟信号：1000 Hz
屏幕刷新频率 10 Hz
数字输入/输出信号 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*
模拟输入/输出信号 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可选第二路模拟输出 质量流量、体积流量、压力、温度
模拟信号精度 在基础误差上额外增加±0.1%量程误差
供电电压 7 - 30 VDC （如选4-20 mA输出，须为15-30 VDC ）
供电电流 250 mA，1 A，2 A（详情咨询）；额外加 40 mA（ 4–20 mA ）
电气接口 DB9，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN
泄漏率（外漏） 选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 质 316L不锈钢、303不锈钢、430FRSS、FFKM（Kalrez），可根据特殊气体选用Viton、EPDM、Buna、Neoprene
过程连接 详情参考压损表
安装方式 对位置无要求
防护等级 IP40
认 证 ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA （可选）
*如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及供电电流需来电垂询
您感兴趣的产品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
仪表网 设计制作，未经允许翻录必究 .
请输入账号
请输入密码
请输验证码
