产品介绍

FMA-A2000系列OMEGA气体质量流量计和控制器利用内部电磁比例阀控制质量流量。可以通过内部电位器设定值或者通过0 ~ 5 Vdc外部源 提供指令信号。

FMA-A2000测量0 ~ 100 SLM之间24个量程的气体质 量流量。要查看完整列表， FMA-A2000系列与大部分非腐蚀性气体相容。建议用户对照气体相容性检查接液材料。精度为±1%、线性模拟输出、成本低、采用热感技术、可测量高达100 SLM的流量、内含电源。

该气体质量流量计和控制器性能出众、 功能多样、设计*、外形紧凑。FMA-A2000气体质量流量计和控制器利用毛细管式热感技术直接测量气体的质量流量。无需进行温度、压力或平方根校正。FMA-A2300／2400系列配备LCD显示屏，并且所有型号都提供线性0 ~ 5 Vdc和 4 ~ 20 mA输出。
 

FMA-A2000系列OMEGA气体质量流量计和控制器技术参数
精度：满量程的±1%（包括线性度）
重复性：满量程的±0.15%或者更佳
量程比：100:1
响应时间：5秒
气体环境温度：0~50°C(32~122°F)
温度系数：每1°C为满量程的0.05%或更佳
压力系数：每psi为满量程的0.01%或更佳
低压力要求：
流量计：1英寸水柱
大流速为1 SLM的控制器：1 psi
流速大于20 SLM的控制器：20 psi
质量流量控制器的压差：<5 LPM，5~50 psi（标准）
>5 LPM，20~40 psi（标准）
气体大压力：
聚甲醛：250 psig
316不锈钢：500 psig
泄漏完整性：1 x10-6 cc/min氦气或更佳
接液部件：
标配：聚甲醛、氟橡胶O形圈
选配：316不锈钢、氟橡胶O形圈
连接口：¼FNPT（标配）；
¼"压合接头（适用于所有不锈钢型号流量计）
输入／输出连接口：9针sub-D连接器
控制信号：0~5 Vdc
控制阀：常闭电磁阀
输出信号：线性0~5 Vdc（小负载1000?），4~20 mA（环路电阻500?）
安装螺纹：
316不锈钢壳体：6⁄32"螺纹
聚甲醛材料：#4/6自攻螺丝
输入电源：
流量计：24 Vdc 150 mA、115 Vac和220 Vac（带交流适配器）
控制器：24 Vdc 300 mA、115 Vac和220 Vac（带交流适配器）
外形尺寸：参见图纸
重量：1.25 kg(2.75 lb)（含电源）
注:配备操作手册、9针sub-D连接器、电源及NIST校准（无数据点）。