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108AUTO 离子溅射仪

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更新时间：2023-05-12 07:35:21浏览次数：85次

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产品简介

108 Auto是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜

详细介绍

108 Auto是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。

主要特性

一、自动的换气与泄气功能，可以得到一致的膜厚，和的导电喷镀效果。

二、通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。

三、操作容易快捷，可全自动或手动进行喷镀操作，控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。

四、在自动模式下，可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果，

五、通过使用MTM-20高分辨膜厚控制仪（选件）在达到设定膜厚时停止喷镀过程。

六、可用MTM-20高分辨膜厚控制仪（选件）手动停止喷镀过程。

七、数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率和的镀膜效果。

八、可使用多种金属靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶为标配），靶材更换快速方便。

技术参数
样品室大小	直径120mm x 120mm 高 (4.75 x 4.75")
靶材	Au 靶为标配， Au:Pd, Pt, Pt:Pd （选件）;大小：直径57mm x 0.1mm厚
样品台	可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为50mm
溅射控制	微处理器控制，安全互锁，可调，电流40mA，程序化数字控制
溅射头	低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩
模拟计量	真空： Atm - 0.001mbar
厚度监控 (选件)	使用MTM-20高分辨厚度控制仪（选件）自动终止溅射过程，或使用MTM-10高分辨厚度监控仪（选件）手动终止溅射过程
控制方法	自动气体换气和泄气功能，自动处理排序，带有“暂停”控制的数字定时器（0－300s），自动放气
桌上系统	真空泵可置于抗震台上，全金属集成耦合系统