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空气过滤器标准和效率

时间:2007/12/17阅读:2293
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空气过滤器标准和效率

空气过滤器标准和效率

随着微电子工业的发展, 对过滤器要求越来越严, 德标准DIN24183提出
"zui容易穿透粒径"(Most Penetrating Particle Size, 简称MPPS)法, 并采用zui容易穿
透粒径来检测空气过滤器的效率. 其实不同的滤料和不同的滤速zui容易穿透粒径是
不同的, 一般在0.11um-0.25um范围内. 然后以此粒径测试其效率或用于扫描实验.
MPPS是目前zui严格的试验标准,
体测试一般采用DOP方法.

DOP(邻苯二甲二辛酯)法: 实验尘源为0.3um单分散相DOP液滴, 测量粉尘仪器为光度
计, 以气样的浊度差别来判定过滤器对DOP颗粒的过滤效率. 目前逐步采用大流量激光
粒子计数器或凝结核计数器对过滤器整个出风面进行扫描检验.
 

中标准欧洲标准
EN779-1993
DOP
0.3um效率/%
ASHRA标准
计重法效率/%
ASHRAE标准
比色法效率/%
粗效过滤器G1 < 65 
粗效过滤器G2 65-80 
粗效过滤器G3 80-90 
中效过滤器G4 >=90 
中效过滤器F5  40-60
中效过滤器F620-25 60-80
中效过滤器F755-60 80-90
中效过滤器F865-70 90-95
中效过滤器F975-80 >=95
亚过滤器H10> 85  
亚过滤器H11> 98  
过滤器AH12> 99.9  
过滤器AH13> 99.97  
过滤器BH14> 99.997  
过滤器CU15> 99.9997  
过滤器DU16> 99.99997  
过滤器DU17> 99.999997  

-------------------------------------------------------------------------------
敏感元器件静电压标准

HBM模式(人体模式) ESD STM5.1-1998
级别静电压范围
Class 0< 250V
Class 1A250-<500V
Class 1B500-<1,000V
Class 1C1,000-<2,000V
Class 22,000-<4,000V
Class 3A4000-<8,000V
Class 3B>=8,000V
MM模式(机器模式) ESD STM5.2-1999
级别静电压范围
Class M1< 100V
Class M2100-<200V
Class M3200-<400V
Class M4>=400V
CDM模式( 放电模式) ESD STM5.3.1-1999

级别

静电压范围
Class C1< 125V
Class C2125-<250V
Class C3250-<500V
Class C4500-<1,000V
Class C51,000-<1,500V
Class C61,500-<2,000V
Class C7>=2,000V

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