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DHRP-1型电感耦合射频等离子体实验装置

装置将射频源产生的频率为13.56MHz的射频功率电磁波，用外置电感耦合方式，

使其放电产生等离子体，获得纯净的等离子体。昆明T061手操泵YFP-16，DHRP-1型电感耦合射频等离子体实验装置

        装置适合大学物理、材料、化学等领域的学生实验，培养学生掌握等离

子体物理及其技术的应用，或作为科学研究用。昆明T061手操泵YFP-16，DHRP-1型电感耦合射频等离子体实验装置

主要实验内容：高斯计特斯拉计

◆ 等离子体消毒灭菌实验（如大肠杆菌、*等)；

◆等离子体材料表面改性实验（如纸张亲水性、纸张接触角)；

◆ 等离子体材料表面清洗实验；

◆ 反应室石英管腔体尺寸：内径Φ70mmX180mm；

◆ 由500W射频源、放电腔体、气源调节系统、真空系统等组成；

◆ 设有透明观察窗，可直观观察等离子体的放电现象及特性；

◆ 真空系统：采用旋片真空泵，单相220V交流电源，极限真空6.7X10-1 Pa；

◆ 供气系统：有两路独立供气气路,通过转子流量计控制流量； 

◆ 本装置需另配接触角测量仪、显微镜、气源等。

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