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MFC800系列气体质量流量控制器
产品概述
MFC800系列气体质量流量控制器,为工业和科学研究领域*可靠工作而设计。利用热扩散原理及PID控制原理,测量和控制小管道的气体质量流量输出,不需要温度和压力补偿。以性能可靠、安装方便和价格合理得以大量应用。
产品特点
☆用于多种气体质量流量控制,如CO,Ar,CF4,O2,N2,H2,C2H4,C2F6,NF3,SIF4等
☆测量范围:从0-5sccm 至 0-1500slm
☆精度:1.0%F.S.
☆量程比:小100:1
☆重复性:0.25%
☆响应时间:1.0S
☆过程温度:0-50℃
☆过程压力:0-8MPa
☆供电:24VDC
☆输出:0-5V,4-20mA,RS232
☆管道材质:316L
☆连接标准:1/4英寸,3/8英寸,1/2英寸,3/4英寸
产品应用
l 实验室,泄漏检测
l 医学,气体合成
l 科学研究,过程控制
l 制药,半导体工业
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