FlexSEM1000是日立高新公司推出一款机型小巧性能好的钨灯丝电镜，拥有大束流和低球差物镜和聚光镜的设计，配备了高分辨率二次电子探头及高灵敏度五分割背散射探头，具有的低真空成像能量，并且采用的SEM MAP高精度导航系统及的自动化功能，使性能更加优越，使用更加简便。
特点
1.节能环保的设计
2.高效率的自动功能
3.简捷的操作界面
4.高分辨低真空观察

详细介绍

FlexSEM1000是日立高的新的公司推出的一款机型小巧性能优异的钨灯丝电镜，拥有大束流和低球差的物镜和聚光镜设计，配备了高分辨率二次电子探头及高灵敏度五分割背散射探头，具有的低真空成像能量，并且采用的SEM MAP高精度导航系统及的自动化功能，使性能更加优越，使用更加简便。

特点

1.节能环保设计

2.高效率的自动功能

3.简捷的操作界面

4.高分辨低真空观察

技术参数

分辨率	4.0nm（加速电压20kV，高真空模式，二次电子像）
	15.0nm（加速电压1kV，高真空模式，二次电子）
	5.0nm（加速电压20kV，低真空模式，背散射电子像）

放大倍率	底片倍率：6 – 300,000x
	显示器倍率：16 – 800,000x

加速电压	0.3-20kV
低真空可变压力范围	6-100Pa
马达台	标配三轴自动马达
行程	X： 0-40mm
	Y： 0-50mm
	R： 360 °
	Z： 5-15mm
	T： -15- 90°
电子光学系统	电子枪：预对中钨灯丝
电子光学系统	信号检测系统：二次电子探测器；高灵敏度背散射探测器

真空系统	全自动阀门控制抽真空系统/涡轮分子泵：61L/S 1台
	机械泵：100L/min 1台
	安全装置：带停电、漏电保护的真空保护功能
操作辅助功能	电子束旋转；动态聚焦；画质优化功能
	数据输入；2点间测量、角度测量、文字；预设倍率；
	样品台位置导航功能（SEM MAP)；电子束标记