中山利丰精密测量仪器有限公司
Mahr度量*的技术实现一步完成轮廓和粗糙度测量
测量速度(文本) | 0.02 mm/s 至 10 mm/s; 粗糙度测量 推荐 0.1 mm/s 至 0.5 mm/s |
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扫描长度末尾(X 方向) | 130 mm |
分辨率 | 0.8 nm |
扫描长度开始(X 方向) | 0.1 mm |
定位速度(文本) | 0.02 mm/s 至 200 mm/s |
测量范围 mm | 13 mm (100 mm probe arm) |
扫描长度(文本) | 0.1 mm - 130 mm 或 260 mm |
测量力 (N) | 0.5 mN 至 30 mN,可软件调整 |
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