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本仪器适用于实时监测曝光量或曝辐量。用户可以根据工作需要设定预置值,仪器在监测量达到预置值时发声报警。该仪器可应用于材料老化、紫外杀菌、光化学、大规模集成电路光刻等领域。
主要性能和指标:
测量波段与量程:
测量范围 (nm) | 峰值波长 (nm) | 量 程 | 主途 | |
辐照度 | 曝光(辐射量) | |||
350—1050 | 半 宽 400—1000 | 999 mW/cm2 | 9999.9 MJ/m2 | 材料老化 |
230—290 | 254 | 9.99 mW/cm2 | 999.99 mJ/cm2 | 紫外杀菌 |
320—400 | 365 | 9.99 mW/cm2 | 999.99 mJ/cm2 | 印刷、光刻 |
380—460 | 420 | 9.99 mW/cm2 | 999.99 mJ/cm2 | 印刷 |
注:表中所列为常用波段和量程,用户选购仪器时要先确认工作波段以及量程。用户也可选择其它波段,例如峰值波长为313nm或340nm,但是要提前就主要指标与部沟通,双方确认后再签购销合同。定制产品原则上不予退货。
仪器显示:本仪器有两个LED显示窗口,其中光辐照度显示3位
曝光量显示5位,两窗口的量程由用户参照上表确定
光辐照度及曝光量精度:±5% (相对于NIM标准)
使用环境:
温度:20℃±20℃
湿度 <80%
使用光纤传光束时,试验箱的温度可达到80℃左右
电源:AC220V
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