无机质谱仪，主要用于无机元素微量分析和同位素分析等方面，它与有机质谱仪工作原理不同的是物质离子化的方式不一样：无机质谱仪是以电感耦合高频放电（ICP）或其他的方式使被测物质离子化。无机质谱仪可以分为火花源质谱仪、离子探针质谱仪、激光探针质谱仪、辉光放电质谱仪、电感耦合等离子体质谱仪。无机质谱仪测试速度快，结果精确。无机质谱仪广泛用于地质学、矿物学、地球化学、核工业、材料科学、环境科学、医学卫生、食品化学、石油化工等领域以及空间技术工作等特种分析方面。