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化学药液浓度计 CS-600F
化学药液浓度计 CS-600F实现了更高标准的功能,旨在更好的适应生产制造,实现半导体湿法工艺对化学药液浓度更精准的管理。比如在多种不同应用中的在线监测高温化学药液,更安全的减少停机时间操作,更轻便的尺寸节约占地面积。药液浓度计拥有更好的性能去监测混酸中的各个成分,包括高精*半导体制程中所需的各种化学药液。通过改进HORIBA的光谱分析测量法,实现了5倍的监测性能提升。提高质量控制能有效改进半导体工艺流程。
通过采取全面的气泡对策,可监测高温样品
在脱泡槽中分离气泡,在监测过程中进一步利用电磁阀把气泡混入监测单元内的发生次数抑制在zui低限度。并且,如果是冷却器一体型产品,则可以直接倒入高温度样品至浓度计。温度补偿将自动进行。
采用DC24V,实现高安全性
电源采用DC24V低压电,提高了安全性以避免触电事故的发生。并且,由于内置漏水传感器,在发生漏水时可以切断SC-1溶液的供应等,采取紧急措施
全自动监测与简易控制
用户只需引入SC-1溶液即可。监测是全自动方式,因此开始监测后不需要进行任何控制。另外,由于参照光谱测量时使用的是空气,所以不需要用水。