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便携式三氟化氮检测仪LBN301便携式三氟化氮检测仪LBN301详细说明:便携式三氟化氮检测仪LBN301主要应用于对三氟化氮气体的泄漏进行检测
便携式三氟化氮检测仪 LBN301 | ||||||||||||||||||
便携式三氟化氮检测仪 LBN301 详细说明:
便携式三氟化氮检测仪 LBN301主要应用于对三氟化氮气体的泄漏进行检测。三氟化氮是一种工业特种气体,其主要用作推进剂(火箭)、氯化剂、电子气、等离子蚀刻及用于掺杂激光、光导纤维。尤其是在目前发展较快的微电子领域,它可以作为一种优良的等离子蚀刻气体,对硅和氧化硅蚀刻,采用三氟化氮比四氟化碳和氧气的混合气体具有更高的蚀刻交率和选择性,而且对表面无污染,在被蚀刻物表面不留任何残留物质,同时也是非常良好的清洗剂。
三氟化氮气体的危害 三氟化氮是一种毒性物质,但是它能强列刺激眼睛、皮肤和呼吸道粘膜,腐蚀组织。吸入高浓度NF3可引起头痛、呕吐和腹泻。长期吸入低浓度NF3能损伤牙齿和骨骼,使牙齿生黄斑,骨骼成畸形。 具有强氧化性。与还原剂能发生强烈反应,引起燃烧爆炸。与易燃物(如苯)和有机物(如粮、纤维素等)接触会发生剧烈反应,甚至引起燃烧。受高热发生剧烈分解,甚至发生爆炸。在大气中的容许浓度:10PPM(29mg/m3)。
便携式三氟化氮检测仪 LBN301特点:
主要技术指标:
使用条件: 工作环境:-20~+50度 湿度:大于20%RH 小于 95%RH(无凝露) 供电:自带充电锂电池供电,配专用充电器充电。
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