低温冷却液循环泵再生的意义
低温泵在当今生产研究过程中应用广泛，但其每工作一段时间后都需要进行“再生”，所需时间长，泵效率低。本文对一种低温泵的吸附阵结构分析并设计了一种结合自动控制功能的快速再生加热系统，该系统由单片机编程控制，自动化程度高，再生时间短，使用方便，为国内低温泵快速再生环节的发展提供借鉴。
低温冷却液循环泵再生的意义
低温泵是一种利用低温表面来冷凝、吸附和捕集气体的真空获得设备，它具有洁净无油、抽速高等优点，在半导体、集成电路和空间技术研究方面应用广泛。由于低温泵采用冷头吸附，工作一段时间后，冷头被气体凝结的固体所覆盖，表面温度升高，对气体吸附作用减弱甚至停止，失去抽气作用，因此实际使用时，每过一段时间就需要对泵进行加热，以去除凝结在冷头上的固态气体，即所谓的“再生”。
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